[发明专利]一种集成式射频信号滤波和放大器件

权利要求书

1.一种集成式射频信号滤波和放大器件，其特征在于，包括：压电衬底及依次排列于压电衬底上的输入换能器、半导体薄膜和输出换能器；

输入换能器，用于接收射频信号，并将射频信号转化为声表面波；

半导体薄膜，用于在施加电压的情况对声表面波进行放大处理；

输出换能器，用于将放大后的声表面波转化为射频信号；

在所述输入换能器和输出换能器之间存在延迟区域，所述半导体薄膜位于所述延迟区域上，在所述半导体薄膜两端设置有用于供加压用的电极；所述半导体薄膜为单层结构；

工作时，射频信号通过输入换能器转化为声表面波，在中间延迟区域上传播，经过与半导体薄膜作用，实现对声表面波放大，放大后的声表面波经过输出换能器转化为射频信号输出；

其中，半导体薄膜材料为碳材料、对气体敏感的无机薄膜或有机薄膜。

2.如权利要求1所述的集成式射频信号滤波和放大器件，其特征在于，输入换能器和输出换能器均为叉指换能器。

3.如权利要求2所述的集成式射频信号滤波和放大器件，其特征在于，叉指换能器中叉指电极的高宽比、周期和孔径根滤波和放大器要求的导纳值和散射值确定。