[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，其对于可以沿第1方向相对移动的照射对象物照射光，其特征在于，具有：

基板，其由所述第1方向和与所述第1方向正交的第2方向规定；

光源，其具有多个固体元件，所述固体元件在所述基板上沿所述第1方向排列多列而配置，相对于所述照射对象物，从与所述第1方向及所述第2方向正交的第3方向照射所述光；

光学元件，其配置于所述多个固体元件的光路中，相对于所述第3方向，使从所述各固体元件射出的光的扩展角变窄，并且使来自于所述各固体元件的光分别以规定的角度折射而射出；

第1反射部，其在从所述第1方向观察时，具有在与所述照射对象物相比配置于所述第3方向下游侧的至少2个第1反射面，将从所述光学元件向所述第1反射面入射的光的一部分相对于所述照射对象物进行反射；以及

第2反射部，其具有在所述光学元件和所述第1反射部之间配置的一对第2反射面，从所述光学元件相对于所述第1反射面对所述光进行导光。

2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

在从所述第1方向观察时，从所述多个固体元件射出的所述光的主光线，向所述第1反射面入射，或者不向所述第1反射面而是向所述照射对象物入射。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，

在从所述第1方向观察时，穿过所述光源的中央的垂线与所述光学元件的光轴大致一致。

4.根据权利要求3所述的光照射装置，其特征在于，

所述多个固体元件的所述第2方向的间隔，随着从所述光源的中央远离而扩大。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的光照射装置，其特征在于，

所述光学元件是沿所述第1方向延伸的圆柱透镜。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的光照射装置，其特征在于，具有：

一对第3反射部，其以从所述第2方向夹着所述多个固体元件的光路的方式，配置于所述光源和所述光学元件之间，从所述光源相对于所述光学元件对所述光进行导光。

7.根据权利要求6所述的光照射装置，其特征在于，

所述一对第3反射部在从所述第1方向观察时，相对于所述第3方向倾斜，所述一对第3反射部的间隔随着从所述光源远离而变窄。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的光照射装置，其特征在于，

具有一对第4反射部，其以从所述第2方向夹着所述多个固体元件的光路的方式，配置于所述光学元件和所述第2反射部之间。

9.根据权利要求8所述的光照射装置，其特征在于，

所述一对第4反射部在从所述第1方向观察时，相对于所述第3方向倾斜，所述一对第4反射部的间隔随着从所述光学元件远离而扩大。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的光照射装置，其特征在于，

所述第1反射面在从所述第1方向观察时，相对于穿过所述光源的中央的垂线而线对称地配置。

11.根据权利要求10所述的光照射装置，其特征在于，

所述第1反射面是平面，在从所述第1方向观察时，配置为所述第1反射面的垂直二等分线与穿过所述光源的中央的垂线相交。

12.根据权利要求1至11中任意一项所述的光照射装置，其特征在于，

所述一对第2反射面在从所述第1方向观察时，相对于所述第3方向倾斜，所述一对第2反射面的间隔随着从所述光源远离而变窄。

13.根据权利要求1至12中任意一项所述的光照射装置，其特征在于，

在将所述照射对象物的外周面的所述光的最大强度设为MAX，将最小强度设为MIN时，满足以下关系式(1)，

MIN/MAX≧50％…(1)。