[发明专利]用于确定回流炉中的加热丝组件更换的方法、装置及系统

说明书

本申请提供一种用于确定回流炉中的加热丝组件更换的方法，包括：获取所述回流炉在指定时间段内的输出功率，其中，所述输出功率是经由功率测量装置在特定工作参数具有规定参数值的工作环境下测量的；以及基于所测量的所述回流炉的输出功率，确定是否更换所述回流炉中的加热丝组件。利用该方法，通过在将回流炉的特定工作参数限定为具有规定参数值的工作环境下测量回流炉在指定时间段内的输出功率，并且仅仅基于所测量的输出功率来确定是否更换所述回流炉中的加热丝组件，从而可以高效且简单地检测加热丝组件是否需要更换。

技术领域

本申请通常涉及半导体芯片封装领域，更具体地，涉及用于确定是否更换回流炉中的加热丝组件的方法、装置及系统。

背景技术

半导体芯片封装工艺通常需要使用回流炉来对晶圆/芯片进行烘烤，比如在光刻工艺中对涂胶进行固化等。回流炉在封装工艺的前后工序中被大量使用。加热丝组件是回流炉中非常关键的组件。在回流炉工作时，需要使用加热丝组件来进行加热。如果加热丝组件出现问题，比如由于老化而导致发热效率大幅降低或者甚至由于烧断而不能工作，则会使得半导体芯片生产效率大大降低或者停工。因此，如何高效地确定回流炉中的加热丝组件是否需要更换，从而及时更换加热丝组件，成为半导体芯片封装工艺中非常重要的问题。

发明内容

鉴于上述问题，本申请提供了一种用于确定回流炉中的加热丝组件更换的方法、装置及系统，利用该方法、装置及系统，通过将用于回流炉输出功率测量的工作环境的特定工作参数限定为具有规定参数值，并在该工作环境下测量回流炉在指定时间段内的输出功率，然后基于所测量的输出功率就能够确定是否更换所述回流炉中的加热丝组件，可以高效且简单地确定加热丝组件是否需要更换。

根据本申请的一个方面，提供了一种用于确定回流炉中的加热丝组件更换的方法，包括：获取所述回流炉在指定时间段内的输出功率，其中，所述输出功率是经由功率测量装置在特定工作参数具有规定参数值的工作环境下测量的：以及基于所测量的所述回流炉的输出功率，确定是否更换所述回流炉中的加热丝组件。

优选地，在上述方面的一个示例中，所述特定工作参数是通过分析所述回流炉的工作环境的工作参数的参数值变化与所述回流炉的输出功率变化之间的关系来从所述工作环境的工作参数中确定的。

优选地，在上述方面的一个示例中，所述特定工作参数可以包括下述工作参数中的至少一种：氮气量、热电偶监测组件读数和温度设置点控制范围。

优选地，在上述方面的一个示例中，基于所测量的所述回流炉的输出功率，确定是否更换所述回流炉中的加热丝组件可以包括：计算所测量的所述回流炉的输出功率在所述指定时间段内的输出功率统计特性值，以及基于所计算出的输出功率统计特性值来确定是否更换所述回流炉中的加热丝组件。

优选地，在上述方面的一个示例中，所述输出功率统计特性值可以包括下述中至少一种：平均输出功率值和输出功率方差值。

优选地，在上述方面的一个示例中，所述方法还可以包括：基于所述特定工作参数的参数值和所述指定时间段，根据输出功率统计基准值确定模型来确定用于加热丝组件更换确定的输出功率统计特性基准值，其中，所述输出功率统计基准值确定模型是利用在所述特定工作参数具有规定参数值的工作环境下测量的历史输出功率值训练的；以及基于所计算出的输出功率统计特性值来确定是否更换所述回流炉中的加热丝组件包括：基于所计算出的输出功率统计特性值与所确定的输出功率统计特性基准值来确定是否更换所述加热丝组件。