[发明专利]一种AlTiN/AlTiYN纳米多层刀具涂层及其制备方法有效
申请号: | 201810095030.3 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN108330453B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 王启民;莫锦君;高则翠;吴正涛;代伟 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/06 |
代理公司: | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人: | 张燕玲;杨晓松 |
地址: | 510062 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 altin altiyn 纳米 多层 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
本发明属于刀具涂层材料技术领域,公开了一种AlTiN/AlTiYN纳米多层刀具涂层及其制备方法。该方法采用电弧离子镀膜技术,并通过样品转架的旋转以及涂层结构自组装实现AlTiN/AlTiYN纳米多层涂层刀具的制备。当样品正对着AlTi靶时,基体沉积一层AlTiN层;正对着AlTiY靶时,沉积一层AlTiYN层;AlTiN层和AlTiYN层交替沉积形成AlTiN/AlTiYN纳米多层涂层。涂层成分为Al:20~32at.%、Ti:10~30at.%、Y:1~5at.%、N:45~57at.%。通过调整转架公转及自传速度可对AlTiN及AlTiYN调制层的厚度进行调控。
技术领域
本发明属于刀具涂层材料技术领域,特别涉及一种AlTiN/AlTiYN纳米多层刀具涂层及其制备方法。
背景技术
在硬质合金刀具基体上涂覆一层或多层硬度高、耐磨性好的金属或非金属化合物薄膜(如TiC,TiAlN,Al203等)的涂层刀具,结合了基体高强度、高韧性和涂层高硬度、高耐磨性的优点,降低了刀具与工件之间的摩擦因数,提高了刀具的耐磨性而不降低基体的韧性。因此,涂层硬质合金刀具有高硬度和优良的耐磨性,延长了刀具的切削寿命。TiN涂层耐温有限,当硬质合金涂层刀具使用温度超过500℃时涂层便开始失效,而TiAlN的耐温也在700℃左右,不能满足刀具高速加工的要求。AlTiN是将Al元素沉积到TiN中而形成的PVD刀具涂层。迄今为止,通过增加TiAlN、AlTiN涂层中的铝含量,从而增强刀具涂层的耐高温性能和硬度,一直是刀具制造商和涂层公司关注的重大技术课题。自1995年以来,人们一直在持续不断地研究和改进相关的气相沉积工艺。到2000年,AlTiN涂层中铝元素与钛元素的成分比例已从原来的1∶2提高到3∶2,即铝含量已从33%增加到60%。从实际使用效果看其硬度可达到36GPa,高温抗氧化达到850℃。但与现代高速切削要求(刀具切削时,局部温度可达1000℃左右)相比,AlTiN高温抗氧化性能还需提高。涂层成分的多元化可提高涂层的综合性能。稀土元素Y是提高涂层高温抗氧化性最有效的元素之一,然而Y元素超过一定量时,涂层中部分面心结构开始向密排六方结构转变,致使涂层硬度下降,从而使涂层刀具无法满足高速切削的高硬度要求。
采用形成多层结构的方法,可在充分利用单层涂层原有优良综合力学性能优势的条件下,进一步提高其硬度、韧性和高温抗氧化性能,是目前提高刀具涂层切削性能的重要技术措施。
发明内容
为了克服现有技术中存在的缺点和不足,本发明的首要目的在于提供一种AlTiN/AlTiYN纳米多层刀具涂层的制备方法;该方法是采用传统PVD技术(电弧离子镀)制备,通过样品转架的旋转实现纳米多层结构;当样品正对着AlTi靶时,基体沉积一层AlTiN层;正对着AlTiY靶时,沉积一层AlTiYN层;AlTiN层和AlTiYN层交替沉积形成AlTiN/AlTiYN纳米多层涂层,旋转速度快慢决定了每层AlTiN层和AlTiYN层的厚度,解决的问题是实现高硬度、高耐磨性和高温抗氧化性好的效果。
本发明的再一目的在于提供一种上述制备方法得到的AlTiN/AlTiYN纳米多层刀具涂层;该涂层可实现高硬度、高耐磨性和高温抗氧化性好的效果且该涂层制备工艺简单,成本低廉,适应性好,有很大的应用推广潜力。
本发明目的通过以下技术方案实现:
一种AlTiN/AlTiYN纳米多层刀具涂层的制备方法,包括如下具体步骤:
S1.刀具基体清洗:将刀具基体抛光处理,然后先后用丙酮、酒精超声清洗10~20min,再用氮气吹干后装入真空室内;
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