[发明专利]一种GaAs表面钝化增强石墨烯肖特基结太阳电池性能的方法在审
申请号: | 201810096847.2 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN108389913A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 张曙光;温雷;李国强;高芳亮 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/072;H01L31/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 陈智英 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨烯 肖特基结 背电极 光电转换效率 太阳能电池 石墨烯层 上表面 钝化 表面形成 钝化处理 界面问题 硫醇溶液 钝化膜 下表面 正电极 制备 电池 复合 | ||
1.一种GaAs表面钝化增强石墨烯肖特基结太阳能电池性能的方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)将一面镀有背电极的GaAs片置于硫醇溶液中,钝化处理,GaAs片未镀有背电极的表面形成钝化膜;所述硫醇为18硫醇或12硫醇;
(2)将GaAs片中镀有背电极的一面称为下表面,另一面成为上表面;将石墨烯转移至GaAs片的上表面,获得石墨烯层;
(3)在石墨烯层上制备正电极。
2.根据权利要求1所述GaAs表面钝化增强石墨烯肖特基结太阳能电池性能的方法,其特征在于:所述硫醇为18硫醇。
3.根据权利要求1所述GaAs表面钝化增强石墨烯肖特基结太阳能电池性能的方法,其特征在于:步骤(1)中所述钝化处理的时间为1~24h;所述硫醇溶液的浓度为2~50mM。
4.根据权利要求1所述GaAs表面钝化增强石墨烯肖特基结太阳能电池性能的方法,其特征在于:步骤(1)中所述一面镀有背电极的GaAs片通过以下方法制备得到:
(S1)镀背电极:将GaAs晶圆上蒸镀一层金属,作为背电极;
(S2)电极退火:将镀有背电极的GaAs晶圆在保护性气体的氛围中,于200~600℃进行退火处理;
(S3)裂片:将镀有背电极的GaAs晶圆切割成方片,然后去除方片表面的杂质,获得一面镀有背电极的GaAs片。
5.根据权利要求4所述GaAs表面钝化增强石墨烯肖特基结太阳能电池性能的方法,其特征在于:步骤(S1)中所述背电极的厚度为50-200纳米;步骤(S2)中所述退火处理的时间为1~20分钟。
6.根据权利要求1所述GaAs表面钝化增强石墨烯肖特基结太阳能电池性能的方法,其特征在于:步骤(2)中石墨烯层的层数为2~10层。
7.一种由权利要求1~6任一项所述方法得到的石墨烯肖特基结太阳能电池。
8.一种太阳能电池,包括权利要求7所述石墨烯肖特基结太阳能电池的结构。
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