[发明专利]一种石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 201810097623.3 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN108365047A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 李国强;张曙光;温雷;高芳亮 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L31/07 | 分类号: | H01L31/07;H01L31/072;H01L31/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 陈智英 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 空穴传输层 背电极 石墨烯层 石墨烯 制备 肖特基结 上表面 正电极 光电转换效率 空穴 钝化处理 钝化膜层 光生电流 传输层 钝化剂 钝化膜 下表面 复合 | ||
1.一种具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池,其特征在于:由下至上依次包括背电极、GaAs片、空穴传输层、石墨烯层、正电极。
2.根据权利要求1所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池,其特征在于:所述空穴传输层为氧化钼层、氧化镍层或氧化钼层与氧化镍层叠加而成的膜层。
3.根据权利要求1所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池,其特征在于:所述空穴传输层的厚度为2~12nm。
4.根据权利要求1所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池,其特征在于:所述GaAs片为N型GaAs片;所述石墨烯层的层数为5~10层。
5.根据权利要求1所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池,其特征在于:还包括钝化膜层,所述钝化膜层设置于GaAs片与空穴传输层之间;所述钝化膜层是钝化剂在GaAs片表面钝化所形成的膜层。
6.根据权利要求1~5任一项所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)在GaAs片的一面镀上背电极,将GaAs片中镀有背电极的一面称为下表面,另一面称为上表面;在GaAs片的上表面镀上一层空穴传输层;或者在镀空穴传输层之前,将镀有背电极的GaAs片置于钝化剂中进行钝化处理,GaAs片未镀有背电极的表面形成钝化膜;
所述空穴传输层为氧化钼膜层、氧化镍膜层或氧化钼膜层与氧化镍膜层叠加组合所形成的膜层;
(2)将石墨烯转移至空穴传输层上,获得石墨烯层;
(3)在石墨烯层上制备正电极。
7.根据权利要求6所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(1)中所述钝化剂为硫代乙酰胺溶液。
8.根据权利要求6所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(1)中钝化处理的时间为2~50min;步骤(1)中所述硫代乙酰胺溶液为硫代乙酰胺的乙醇溶液;
步骤(1)中在GaAs片的一面镀上背电极,具体步骤为:
(S1)镀背电极:将GaAs晶圆上蒸镀一层金属,作为背电极;
(S2)切割:将镀有背电极的GaAs晶圆切割成方片,然后去除方片表面的杂质,获得一面镀有背电极的GaAs片。
9.根据权利要求6所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(2)中石墨烯层需进行加热处理和除杂预处理,所述加热处理和除杂预处理是指将含有石墨烯层的GaAs片,于75~225℃烘烤,依次在热丙酮、常温丙酮下浸泡,吹干。
10.根据权利要求9所述具备空穴传输层的石墨烯-GaAs肖特基结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述热丙酮的温度为于20~80℃,浸泡的时间为5~50min,常温丙酮下浸泡的次数1~3次。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的