[发明专利]一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法及装置

权利要求书

1.一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法，包括：

步骤101，测定待测器件的快慢轴方向，包括：通过四分之一波片设置入射光的消光比；然后，通过二分之一波片设置入射光的偏振角度；然后，通过测量出射偏振光功率最小和最大对应的偏振角度确定出射光偏振旋转为零的角度；然后，通过测量出射光偏振旋转为零来确定入射光与快慢轴之间夹角为45度的角度；通过获取相邻两个入射光与快慢轴之间夹角为45度的角度平均值作为快慢轴方向；

步骤102，通过检偏器测量待测器件出射光的偏振旋转角度，以快慢轴方向和偏振旋转角度为输入推算出芯片或器件的应力。

2.如权利要求1所述的通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法，其特征在于，所述步骤102进一步包括：

步骤301，测定入射光和出射光的偏振角度和消光比；

步骤302，假设快慢轴方向分别对应i和j方向，则入射光在快慢轴i和j上分解为：

E_i＝A_icos(ωt) (1)

出射光在快慢轴i和j上分解为：

E_i＝A_icos(ωt+n_i2πL/λ) (3)

其中L为器件长度，n_i和n_j是快慢轴上的折射率，根据公式(1)、(2)、(3)和(4)确定快慢轴上的分量的损耗和相位变化，确定入射光和出射光在快慢轴上的分量的损耗和相位变化；

步骤303，基于快慢轴分量的变化确定快慢轴上的折射率；

步骤304，根据光弹效应，由于应力导致的快慢轴上折射变化由以下公式(5)和(6)确定：

dn_i＝C11S_i–C12(S_j+S_k) (5)

dn_j＝C11S_j–C12(S_i+S_k) (6)

dn_i和dn_j为i方向和j方向上应力导致折射率变化，S_i，S_j，S_k为三个方向上应力，C11和C12为光弹系数，

dn_i–dn_j＝(C11+C12)(S_i–S_j) (7)

通过公式(7)确定快慢轴上的应力差S_i–S_j。