[发明专利]纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，包括以下组分及重量份含量：稀土氧化物抛光粉50-70份，稳定剂0.5-1份，分散剂0.5-1份，光亮剂0.2-1.5份，pH调节剂0.3-1份，纳米金刚石凝聚物的悬浮液40-60份以及去离子水20-30份。

2.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，所述的稀土氧化物抛光粉中，稀土氧化物为镧、铈、镨、钕或钐的氧化物中的一种或几种。

3.根据权利要求2所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，所述的稀土氧化物抛光粉为纳米球形氧化铈，该纳米球形氧化铈的纯度≥99.9%，平均粒径≤30nm。

4.根据权利要求3所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，所述的纳米球形氧化铈的制备方法具体包括以下步骤：

步骤（A）：按铈盐与柠檬酸的摩尔比为1:2-4，将铈盐与柠檬酸置于球磨罐中，加入无水乙醇，于室温下球磨3-5小时，制得凝胶；

步骤（B）：将球磨所得的凝胶置于干燥箱中，在75-85℃下干燥3-6小时，直至形成干凝胶；

步骤（C）：将干凝胶置于马弗炉，加热至500-680℃恒温处理1-3小时，制得氧化铈粉体；

步骤（D）：将制得的氧化铈粉体进行研磨，随后用去离子水和乙醇分别洗涤3-5次，去除杂质，后于60-75℃烘干；

步骤（E）：将除杂后的粉末再置于马弗炉中，于800-850℃下煅烧1-2小时，即制得纳米球形氧化铈；

其中，步骤（A）中所述的铈盐为六水硝酸铈或七水三氯化铈，柠檬酸为一水柠檬酸。

5.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，所述的纳米金刚石凝聚物的悬浮液为爆轰法纳米金刚石凝聚物的悬浮液，该悬浮液的固体成分浓度为6-8%。

6.根据权利要求5所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，所述的纳米金刚石凝聚物的D₅₀为30-80nm。

7.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，所述的稳定剂为正硅酸乙酯或KH560中的一种或两种，所述的分散剂为三聚磷酸钠、十二烷基硫酸钠、OP-10、TW-80、六偏磷酸钠或十六烷基三甲基溴化铵中的一种或几种。

8.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液，其特征在于，所述的光亮剂为甘油、PGF-400、苯甲酸钠或烟酸中的一种或几种，所述的pH调节剂为乙二胺、三乙醇胺、三乙烯四胺或乙醇胺中的一种或几种。

9.一种如权利要求1至8任一项所述的纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液的制备方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：

步骤（1）：按以下组分及重量份进行备料：

稀土氧化物抛光粉50-70份，稳定剂0.5-1份，分散剂0.5-1份，光亮剂0.2-1.5份，pH调节剂0.3-1份，纳米金刚石凝聚物的悬浮液40-60份以及去离子水20-30份；

步骤（2）：在室温条件下，将去离子水总量的50-60%与稳定剂、分散剂混合搅拌，得混合水溶液，再将混合水溶液加入到稀土氧化物抛光粉中，边加边搅拌，控制加入流量为30-45ml/min，充分搅拌混合均匀，制得混合溶液A；

步骤（3）：将光亮剂溶解在剩余去离子水中，加入到混合溶液A中，边加边搅拌，控制加入流量为30-45ml/min，制得混合溶液B；

步骤（4）：将纳米金刚石凝聚物的悬浮液加入到混合溶液B中，边加边搅拌，控制加入流量为30-45ml/min，随后加入pH调节剂，调节pH值为9-10，制得所述的纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液。

10.根据权利要求9所述的一种纳米金刚石凝聚物/稀土复合抛光液的制备方法，其特征在于，所述复合抛光液的D₅₀为50-300nm，D_max＜500nm，有害杂质离子浓度＜40ppm。