[发明专利]位移检测器

说明书

位移检测器被配置为由布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于所接收的信号来检测检测头和标尺之间的位移。发送信号从布置在检测头中的发送电极通过布置在标尺中的耦合电极发送到接收电极。相位调整单元从发送信号输出单元输出的发送信号产生其相位被调整的信号。振幅调整单元调整由相位调整单元调整其相位的信号的振幅以产生串扰校正信号。解调单元对通过合成串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样并且以解调采样的信号。

技术领域

本发明涉及一种位移检测器。

背景技术

近来，位移检测器(或编码器)已被广泛用作测量位移的设备之一。使用诸如电容型和光学型的各种检测类型的位移检测器。例如，作为位移检测器的示例的线性编码器包括标尺和沿着标尺移动的检测头，并且检测标尺和检测头之间的位移。

在一般的电容式位移检测器中，已知的是，不期望的发送信号干扰所接收的信号并且由此在检测到位移时发生串扰。因此，位移检测的精度恶化。另一方面，提出了一种校正串扰的方法(日本未审查专利特开第2-269908号公报)。在该方法中，通过调整具有与通过不必要路径的电容输入的信号的相位相反的相位的信号的振幅，并且将调整后的信号作为校正信号输入到接收电极，在接收电极消除串扰。

发明内容

在日本未审查专利特开第2-269908号公报，由逆变器产生具有与输入到发送电极的信号的相位相反的相位的校正信号。然而，为了高精度地校正串扰，需要精确地调整校正信号的相位。因此，为了更精确地调整消除电容器的电容值，并联布置的消除电容器的数量增加。换句话说，为了改善校正信号的相位调整功能，不可避免地增加电路规模。

本发明鉴于上述情况而做出，并且本发明的目的在于以简单的配置来抑制或去除电容式位移检测器的串扰。

本发明的第一示例性方面是一种位移检测器，所述位移检测器是电容式位移检测器，被配置为通过布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于接收的信号检测所述检测头和标尺之间的位移，所述发送信号从布置在所述检测头中的发送电极通过布置在所述标尺中的耦合电极发送到所述接收电极，所述位移检测器包括：相位调整单元，被配置为从发送信号输出单元输出的发送信号产生相位被调整的信号；振幅调整单元，被配置为调整由相位调整单元调整相位的信号的振幅以产生串扰校正信号；和解调单元，被配置为对通过合成所述串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样，并且被配置为解调所采样的信号。

本发明的第二示例性方面是上述位移检测器，其中相位调整单元基于预定条件通过电容分压来调整所述发送信号的电压，并且合成调整过的电压以产生具有与包括在所述接收的信号中的串扰的相位相反的相位的信号，振幅调整单元基于预定条件使得由相位调整单元产生的信号的振幅与串扰的振幅一致，以产生串扰校正信号。

本发明的第三示例性方面是上述位移检测器，其中相位调整单元包括多个第一电容器，第一电容器的一端连接到振幅调整单元的输入端，并且响应于第一控制信号来控制所述多个第一电容器中的所述第一电容器的数量，所述第一电容器的另一端接收所述发送信号。

本发明的第四示例性方面是上述位移检测器，其中所述多个第一电容器的电容值彼此不同。

本发明的第五示例性方面是上述位移检测器，其中振幅调整单元包括多个第二电容器，并且振幅调整单元被配置为能够改变所述多个第二电容器中的连接在解调单元和振幅调整单元之间的所述第二电容器的数量。

本发明的第六示例性方面是上述位移检测器，包括多个第一开关，所述多个第一开关插在所述振幅调整单元与所述多个第二电容器之间或者所述解调单元与所述多个第二电容器之间，所述多个第一开关被配置为响应于第二控制信号而打开和闭合，其中所述多个第一开关中要闭合的第一开关的数量响应于所述第二控制信号而被控制。