[发明专利]混酸设备在审

专利信息
申请号: 201810103210.1 申请日: 2018-02-01
公开(公告)号: CN108211839A 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 李嘉 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: B01F5/10 分类号: B01F5/10;B01F5/20;B01F3/08
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂;程晓
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 混酸槽 循环泵 进液管 混酸设备 出液管 搅拌桨 伸入 腐蚀性药液 离子污染 溶液混合 液体流动 一端连接 传统的 均匀性 喷淋头 固液 混酸 喷淋 腐蚀 融合 外部 保证
【说明书】:

发明提供一种混酸设备,包括混酸槽、循环泵、出液管、以及一个或一个以上的进液管,所述循环泵设于所述混酸槽外部,所述出液管两端分别连接所述混酸槽和循环泵,所述进液管一端连接循环泵,另一端伸入所述混酸槽内,伸入所述混酸槽内的所述进液管上设有多个喷淋头,通过采用循环兼喷淋的搅拌方式进行溶液混合,能够保证混酸槽内的液体流动更加充分,从而可以达到固液融合的效果,提高混酸的均匀性,且与传统的搅拌桨搅拌方式相比,避免了混酸槽内搅拌桨受腐蚀性药液腐蚀而造成的离子污染。

技术领域

本发明涉及混合液制备技术领域,具体涉及一种混酸设备。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)具有机身薄、省点、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用,如:移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本屏幕等。

薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)液晶显示器一般包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子,通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向,将背光模组的光线折射出来产生画面。

上述TFT-LCD的制程一般包括:前段阵列(Array)制程、中段成盒(Cell)制程、及后段模组组装制程。前段阵列制程又包括:玻璃基板的清洗与干燥、镀膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻、去除光刻胶等制程。

受限于前段阵列制程,玻璃基板厂商所能提供的玻璃基板厚度只能到0.5mm,而显示产品要求玻璃基板的厚度已经达到了0.3mm甚至更薄。因此,需要对平板玻璃基板进行减薄工艺,即将已成盒后的双面玻璃基板通过物理或化学方法去除一层而实现减薄。其中,化学方法即化学蚀刻,通常采用浸泡方式将玻璃基板完全进入蚀刻药液进行蚀刻。

现有技术中将浓硫酸、氢氟酸、硝酸、磷酸,这四种酸按一定比例混合制成混酸蚀刻液,大量用于目前的玻璃减薄行业,但是由于部分固体化学品在液体化学品中的溶解度不一样,可能无法完全自主液体中溶合,现有技术中两种或两种以上酸的混合或浓酸的稀释通常需要在通过搅拌桨/循环/通气等方式进行搅拌的容器中进行,边混合边搅拌,工序繁琐,混合的均匀性也不是很好,设备结构复杂,操作不方便。

发明内容

本发明的目的在于提供一种混酸设备,采用循环兼喷淋的搅拌方式进行溶液混合,能够保证混酸槽内的液体流动更加充分,从而提高混酸的均匀性,且与传统的搅拌桨搅拌方式相比,避免了因腐蚀所造成的离子污染。

为实现上述目的,本发明提供一种混酸设备,包括混酸槽、循环泵、出液管、以及一个或一个以上的进液管;

所述循环泵设于所述混酸槽外部;

所述出液管两端分别连接所述混酸槽和循环泵;

所述进液管一端连接所述循环泵,另一端伸入所述混酸槽内;

伸入所述混酸槽内的所述进液管上设有多个喷淋头。

所述进液管的数量为一个以上,该一个以上的进液管共同通过一根分流管连接所述循环泵,并分别从不同高度伸入所述混酸槽内。

所述多个喷淋头分别朝不同方向喷淋液体。

所述喷淋头朝上、朝下、朝水平方向、斜向上、或斜向下喷淋液体。

所述混酸槽包括至少一个侧壁及相对设置于所述侧壁两端的盖板和底板,所述进液管设置于所述出液管远离底板的一侧。

所述进液管水平、竖直、或倾斜地伸入所述混酸槽内。

伸入所述混酸槽内的进液管的形状为直线形、环形、或网格状。

所述出液管上设置有控制阀。

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