[发明专利]滤波器

说明书

本发明公开了一种滤波器。该滤波器包括至少一个串联谐振器和至少两个并联谐振器，并联谐振器或串联谐振器包括：质量负载层，其中，质量负载层的密度可调。通过本发明，达到了并联谐振器只需要一层质量负载层就可以调节滤波器中谐振器的谐振频率的效果。

技术领域

本发明涉及通信领域，具体而言，涉及一种滤波器。

背景技术

双工器或滤波器是手持移动通信产品的重要组成部分之一。目前，手持移动通信产品主要采用基于压电材料制作的双工器或滤波器，如薄膜体声波双工器或滤波器。薄膜体声波谐振器是构成压电体声波滤波器和双工器的基本单元，薄膜体声波谐振器的工作区由金属底电极-压电膜-金属上电极组成，器件工作于厚度振动模式，工作频率与压电材料的厚度成反比。当电信号加载到薄膜体声波谐振器上时，器件中的压电薄膜通过逆压电效应将电信号转变为声信号，声学结构对不同频率的声信号呈现出选择性，其中器件内满足声波全反射条件的声信号将在器件内实现谐振，而不满足谐振条件的声信号就会衰减，在频谱上与谐振声信号频率相差越多的声信号衰减越快，这样薄膜体声波谐振器最终就表现出对电信号的选频作用。

图1是现有技术中的由谐振器组成的梯形结构滤波器。梯形结构滤波器由一个或多个串联谐振器和一个或多个并联谐振器组成。如图1所示，滤波器100由三个串联谐振器130和两个并联谐振器110、120组成。

串联谐振器130和两个并联谐振器110、120的截面图也画在了图1中，串联谐振器130包括：衬底101；在衬底上刻蚀形成的空腔132；第一电极136；压电层135；第二电极133。并联谐振器110包括：衬底101；在衬底上刻蚀形成的空腔112；第一电极116；压电层115；第二电极113；第一质量负载层114。因为第一质量负载层114使得谐振器第二电极113的厚度增加，因此谐振器110的谐振频率比谐振器130的谐振频率低。并联谐振器120包括：衬底101；在衬底上刻蚀形成的空腔122；第一电极126；压电层125；第二电极123；第一质量负载层124；第二质量负载层127。因为第二质量负载层127使得谐振器第一电极123的厚度增加，因此谐振器120的谐振频率比谐振器110的谐振频率低。

由于梯形结构滤波器的并联谐振器的谐振频率必须低于串联谐振器的谐振频率才能形成一个带通滤波器，因此在梯形结构滤波器通常引入一层或多层质量负载层，然而每引入一层质量负载层，就必须增加额外的薄膜沉积、光刻、刻蚀等工艺步骤。同时因为工艺步骤的增加，也会影响滤波器的性能和产品的优良率。

针对相关技术中并联谐振器需要多层质量负载层导致的工艺步骤增加的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种滤波器，以解决相关技术中并联谐振器需要多层质量负载层导致的工艺步骤增加的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种滤波器，包括至少一个串联谐振器和至少两个并联谐振器，所述并联谐振器或所述串联谐振器包括：质量负载层，其中，所述质量负载层的密度可调。

进一步地，所述滤波器包括第一并联谐振器和第二并联谐振器，所述第二并联谐振器的质量负载层的密度大于所述第一并联谐振器的质量负载层的密度，其中，所述质量负载层的密度＝谐振器有效区域上质量负载面积/谐振器有效区域总面积。

进一步地，所述质量负载层由图形密度可调的图案组成。

进一步地，所述质量负载层由等间距的条纹组成。

进一步地，所述第二并联谐振器的条纹的占空比大于所述第一并联谐振器的条纹的占空比。

进一步地，所述质量负载层由网格组成。

进一步地，所述第二并联谐振器的质量负载层网格的密度大于所述第一并联谐振器的质量负载层网格的密度。