[发明专利]一种高光敏性和优异掩孔性能的感光性树脂组合物及应用

权利要求书

1.一种具有高光敏性和优异掩孔性能的感光性树脂组合物；其特征在于，所述感光性树脂组合物包括：45～75wt％的碱溶性树脂、20～50wt％的至少具有一个乙烯型不饱和双键的光聚合性化合物、0.001～2wt％的光聚合引发剂、0.1～3wt％的添加剂；

所述至少具有一个乙烯型不饱和双键的光聚合性化合物含有20～99.8wt％的下述通式(Ⅰ)所示的EO/PO修饰的双酚A结构(甲基)丙烯酸酯和0.2～80wt％的通式(Ⅱ)所示的EO/PO修饰的乙烯型不饱和基氨基甲酸酯化合物；

式中，R₁、R₂、R₃、R₄各自独立的表示H或者CH₃，Q选自碳原子数为1～10亚烷基、碳原子数为1～10的环亚烷基、芳基，X、Y各自独立地选自乙氧基(EO)或者丙氧基(PO)，m₁、m₂分别为1～30的整数，m₃、m₄分别为1～100的整数，n₁、n₂分别为0～20的整数，n₃、n₄分别为1～100的整数，m₁+m₂为4～30的整数，m₃+m₄为1～100的整数，n₁+n₂为0～20的整数，n₃+n₄为1～100的整数，EO和PO重复单元的排列可以无规或者嵌段。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂使用α,β-不饱和羧基的单体作为共聚成分，酸值为100～400mg KOH/g，重均分子量为60000～130000g/mol，聚合转化率不低于97.0％。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂是将甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸丁酯、2-丙烯酸羟乙酯、2-甲基丙烯酸羟乙酯、2-丙烯酸羟丙酯、2-甲基丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苄酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯自由组合合成的线型丙烯酸高分子中的两种以上的单体通过共聚而获得的共聚丙烯酸高分子化合物。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(Ⅰ)所示的EO/PO修饰的双酚A结构(甲基)丙烯酸酯的含量为70～92wt％，所述通式(Ⅱ)所示的EO/PO修饰的乙烯型不饱和基氨基甲酸酯化合物的含量为8～30wt％。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述含有上述通式(Ⅱ)的EO/PO修饰的乙烯型不饱和基氨基甲酸酯化合物，其重均分子量为4000～20000g/mol。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合引发剂为含有通式(Ⅲ)的吖啶类衍生物；

式中，R₅选自H、碳原子数为1～6的烷基、芳基、取代芳基、卤代芳基、吡啶基。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述添加剂由增感剂，供氢体，发色剂，染色剂，增塑剂，光热稳定剂，附着力促进剂，流平剂，消泡剂中的一种或多种按照任意配比组成。

8.一种权利要求1所述的感光性树脂组合物的应用，其特征在于，所述感光性树脂组合物利用光源波长为405nm的激光直接成像曝光机进行曝光，曝光部分发生光固化，依靠显影工艺而形成抗蚀剂图案。