[发明专利]一种平板平整度检测系统及其方法

权利要求书

1.一种基于Modbus协议的平板平整度检测系统，其特征在于，包括：分布在被检平板下方的由多路电涡流位移传感器构成的位移传感器组，所述位移传感器组采集的数据输入到信号调理模块进行调理后，再通过微控制器单元MCU进行处理，然后将处理的数据进行输出。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述位移传感器组由12路电涡流位移传感器构成。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述信号调理模块包括多路模拟开关单元以及前置放大单元；所述多路模拟开关单元用于将传感器采集的信号进行切换选通信号输入；所述前置放大单元用于将选通的信号进行前端信号放大。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述微控制器单元MCU包括12位A/D转换器、CPU以及报警模块；所述CPU采用RS232串行数据通信的接口标准完成数据采集板与上位机程控界面的人机交互。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，Modbus通信协议采用RTU传输模式。

6.一种基于Modbus协议的平板平整度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：采用12路电涡流位移传感器布点测量平板信号，完成待测平板平整度的信息采集工作；

步骤2：将采集的信息通过信号调理模调理选通相应模拟信号输入，并通过仪表放大电路进行信号前端放大；

步骤3：将放大的信号通过A/D转换器进行模数转换，并转换后的数字信号通过CPU进行相应处理实现与上位机的人机交互。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤1中所述布点方法包括：

在进行检测之前首先调整平板工作面，使其基本处于水平状态，测量点采用对角线分布，对于尺寸小于等于400×400mm的平板，测量点采用9点分布；大于400×400mm的平板，采用25点分布。