[发明专利]一种新型变色防隐裂太阳能电池保护涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201810104365.7 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108330457B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 鞠振河;郭睿;张东 | 申请（专利权）人： | 辽宁太阳能研究应用有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 许宇来 |
| 地址： | 110136 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 变色 防隐裂 太阳能电池 保护 涂层 制备 方法 | ||
1.一种新型变色防隐裂太阳能电池保护涂层的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)将Si基太阳能电池基片用去离子水超声波清洗5分钟后，吹干送入磁控溅射反应室，在1.0×10-3Pa真空的条件下，在电池基片背面沉积制备AZO透明导电电极；其工艺参数条件是：氩气和氧气作为混合气体反应源，氩气和氧气流量比5:1，反应溅射氧化锌掺杂铝靶材的纯度为99.9%，电池基片加热温度为300℃，反应时间为30分钟；
(2)在磁控溅射制备中继续制备TiSiN抗腐蚀保护涂层；其工艺参数条件是：氮气作为气体反应源，氮气流量为80sccm，反应溅射氮化钛靶材和硅靶材的纯度为99.99%，电池基片加热温度为400℃，反应时间为20分钟；
(3)然后在磁控溅射制备中，将真空抽到1.0×10-3Pa真空的条件下，将电池基片翻过来，在电池基片正面沉积制备AZO透明导电电极；其工艺参数条件是：氩气和氧气作为混合气体反应源，氩气和氧气流量比5:1，反应溅射氧化锌掺杂铝靶材的纯度为99.9%，电池基片加热温度为300℃，反应时间为30分钟；
(4)继续在磁控溅射制备中，将真空抽到9.0×10-4Pa真空的条件下，在电池基片正面沉积制备AZO透明导电电极之后继续沉积制备MgF2变色材料；其工艺参数条件是：氩气作为混合气体反应源，其氩气流量为80sccm，反应溅射二氟化镁靶材的纯度为99.99%，电池基片加热温度为400℃，反应时间180分钟；
(5)在磁控溅射制备中继续制备TiSiN抗腐蚀保护涂层；其工艺参数条件是：氮气作为气体反应源，氮气流量为80sccm，反应溅射氮化钛靶材和硅靶材的纯度为99.99%，电池基片加热温度为400℃，反应时间为20分钟。
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