[发明专利]一种微焦点透视检测机

说明书

本发明所涉及一种微焦点透视检测机，包括检测机外罩，机壳底板，侧梁支架。因机壳底板上面设置有方通支架，该支架内部设置有微焦点数字光管升降机构，方通支架上端设置有载物平台；侧梁支架上一端设置有探测器升降机构。工作时，采用工控机控制方式，驱使微焦点数字光管升降机构、载物平台、探测器升降机构相互配合，在指定区域内检测，同时还采用清晰的导航窗口，指定检测区域，通过高寿命微焦点数字光管，高清平板探测器，在X、Y、Z轴调节驱动，实现对指定区域的检测。通过强大的分析测量工具，自动测算焊点气泡空洞比率，自动判断是否符合IPC国际标准。能够获取高倍率，高分辨率影像，有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷。

【技术领域】

本发明涉及一种用于STM行业中的微焦点透视检测机。

【背景技术】

X射线技术是从1895年德国物理学家伦琴发现起，到至今X射线技术已经应用超过100年之久。对于X射线的应用主要集中在工业探伤、医疗检测和安检方面。然而，SMT生产及半导体领域的X-RAY成像来说，对X光发生器和探测器提出更高的要求。由于现有技术微焦点X光线管的解析度，分辨率，以及精密度不够高，使得所述现有技术微焦点X光线管不能获得高倍率、高分辨率的影像，导致不能有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷。

【发明内容】

有鉴于此，本发明所要解决的技术问题是提供一种能够获取高倍率，高分辨率的影像有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷的微焦点透视检测机。

为此解决上述技术问题，本发明中的技术方案所采用一种微焦点透视检测机，其包括检测机外罩，安装在检测机外罩底部的机壳底板，安装在检测机外罩内部上方的侧梁支架；所述机壳底板上面设置有方通支架，该方通支架内部设置有微焦点数字光管升降机构，所述的方通支架上端设置有载物平台；所述的侧梁支架上一端设置有探测器升降机构。

依据上述主要技术特征所述，所述检测机外罩包括机架外壳，设置于机架外壳前面的横梁控制面板平台，设置于横梁控制面板平台上面的急停开关，设置于横梁控制面板平台上面的键盘及显示器，设置于机架外壳前面上方的活动观察窗口，设置于机架外壳顶端的报警灯，设置于机架外壳底部四周的脚轮脚杯。

依据上述主要技术特征所述，所述微焦点数字光管升降机构包括光管底座，安装在光管底座内部的光管驱动电机，安装在光管底座背面上端的光管丝杆导轨固定座，安装在光管丝杆导轨固定座内部的光管导轨，安装在光管导轨内部的光管丝杆，安装在光管丝杆导轨固定座上端的X-ray发射管固定座，安装在X-ray发射管固定座侧面的X-ray发射管；X-ray发射管是由微焦点数字光管构成的；X-ray发射管固定于X-ray发射管固定座上，X-ray发射管固定座与光管丝杆，以及光管导轨联动；光管丝杆，光管导轨固定于光管丝杆导轨固定座上，光管驱动电机固定于光管丝杆导轨固定座上，光管驱动电机的输出轴与光管丝杆一端连接。

依据上述主要技术特征所述，所述载物平台包括直接安装在方通支架上面的平台安装板，安装在平台安装板一侧的Y轴支座，安装在Y轴支座一端的Y轴方向驱动电机，与Y轴方向驱动电机连接的Y轴同步带，与Y轴同步带另一端连接的Y轴同步轮，安装在Y轴支座上面的载物工作台，安装在载物工作台上面的遮掩封板，安装在载物工作台与Y轴同步带之间的Y轴同步带连接件，安装在Y轴支座侧面的Y轴导轨，安装在与Y轴导轨同侧的平台安装板上的X轴支架，安装在X轴支架一端的X轴方向驱动电机，与X轴方向驱动电机连接的X轴同步带，与X轴同步带一端连接的X轴同步惰轮，用于将X轴支架与Y轴导轨连接的X轴同步带连接件，安装在Y轴导轨上面的X轴导轨，安装在X轴导轨下面的X轴导轨底板，Y轴方向驱动电机与Y轴导轨固定在Y轴支座上；X轴支架固定于Y轴导轨的滑块上；载物工作台与X轴导轨滑块联动。