[发明专利]一种高纯氧化钽本体坩埚的制造方法

权利要求书

1.一种高纯氧化钽本体坩埚的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)、将高纯氧化钽粉料进行调配，配制量100kg计，其中：60%~70%高纯氧化钽，20%~25%超纯水，10%~15%粘接剂，所述粘接剂PVA含量5%~10%，再加入100mL~300mL分散剂，所述分散剂为A135，放入300L湿磨机中；

2)、加入钽合金球30 kg ~40kg，球料比为1:2.5~3.5；

3)、粉料混合物球磨2小时，取浆液过500~800目筛后，喷雾干燥，获得流动性小于150秒的近球型高纯氧化钽颗粒；

4)、取1.7kg~1.9kg制粒高纯氧化钽装入橡胶模具中，橡皮模锁紧，防止漏水；

5)、将已装料模具放入等静压缸体中，15分钟缓慢升压至100~110兆帕，然后缓慢降压至70~75兆帕保压5分钟，降至50~55兆帕保压5分钟，降至15~20兆帕保压5分钟，再降至常压；

6)、打开等静压缸盖，取出压制模具，小心拆开橡胶模，取出压制好的高纯氧化钽坩埚坯体；

7)、将坩埚坯体装入烘箱，升温至100℃~150℃，保温24小时，冷却至室温，装入高温烧结炉；

8)、将烘干的坩埚坯体倒置在高温烧结炉体内，用刚玉平板托放，防止变形，平板上洒上氧化钽粉末，防止高温烧结时粘板；

9)、进行高温烧结炉升温工艺如下：每升50℃保温30分钟，一直升到1450℃~1550℃，保温2小时，随炉冷却至室温，出炉；

10)、打磨，包装入库。