[发明专利]一种耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法

权利要求书

1.一种耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于：其包括以下步骤：

步骤S1，制备氧化石墨烯螯合金属离子材料；

步骤S2，取已电镀铜的半成品工件与氧化石墨烯螯合金属离子材料进行镍复合膜的电化学共镀；

步骤S3，将步骤S2所得的工件进行真空复合镀铬膜；

所述氧化石墨烯螯合金属离子材料为氧化石墨烯接枝二乙胺三乙酸螯合铜。

2.根据权利要求1所述的耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于，所述氧化石墨烯螯合铜离子材料采用以下步骤制备得到：

步骤S101，将氧化石墨烯溶解于水中，进行搅拌分散得到分散的氧化石墨烯水溶液，然后向氧化石墨烯水溶液中加入羟乙基乙二胺三酸和氯化亚砜进行搅拌混合，并于40~100℃条件下进行反应，得到氧化石墨烯接枝乙酯基乙二胺三乙酸；将得到的产物经过滤、水洗和干燥；

步骤S102，向得到的氧化石墨烯接枝乙酯基乙二胺三乙酸中加入水，混合均匀，再加入CuSO₄溶液和含NH₄⁺的溶液中进行反应，然后过滤、水洗并干燥，得到氧化石墨烯螯合铜离子材料。

3.根据权利要求2所述的耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于：步骤S101中，氧化石墨烯、羟乙基乙二胺三酸和氯化亚砜的摩尔比为1:2:0.01~0.03。

4.根据权利要求1~3任意一项所述的耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于：步骤S3包括以下子步骤：

步骤S301，镀镍/硅/钒合金膜；

步骤S302，镀Cr/Si/Nx陶瓷膜；

步骤S303，镀光亮铬膜。

5.根据权利要求4所述的耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于：步骤S301中，镀镍/硅/钒薄膜使用合金靶，其合金靶的组份及其质量百分比为：镍84~96%，硅2~8%，钒2~8%；步骤S302，镀铬/硅/氮薄膜使用铬/硅靶镀膜，所述铬/硅靶的组份及其质量百分比为：铬95%，硅5%；镀膜过程中，PVD炉内，氩气流量不变，氮气流量逐渐降低。

6.根据权利要求5所述的耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于：步骤S302中的镀膜过程中，PVD炉内，氩气流量保持50-250SCCM，氮气流量由500SCCM逐渐减至0~100 SCCM；Cr/Si/Nx中x=1~4。

7.根据权利要求1所述的耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于：步骤S2中，已电镀铜的半成品工件的胚件为金属基材或塑料基材，所述塑料基材先进行粗化处理，所述粗化处理为PVD物理法的无铬粗化或传统的六价铬粗化。

8.根据权利要求7所述的耐蚀性的绿色复合零价铬表面处理方法，其特征在于：步骤S2包括以下步骤：

步骤S201，对工件进行处理，表面镀铜，然后镀半光镍；

步骤S202，将步骤S201的工件移到电镀全光镍槽液中，并投入步骤S1所制备的GO-DNTA-Cu，通过脉冲电镀共沉积将GO-DNTA-Cu和全光镍共镀到工件表面。