[发明专利]归正工位装置

说明书

本发明涉及归正工位装置，主动轮和从动轮旋转自如地支撑于基板上，同步带套置于主动轮和从动轮上，同步带的一侧安装第一夹块，同步带的另一侧安装第二夹块，第一夹块和第二夹块上对应安装右滑板与左滑板，左滑板与右滑板上对应设有归正左挡条与归正右挡条，归正左挡条与归正右挡条呈平行布置，同步带带动第一夹块与第二夹块做运动方向相反的直线运动，使左滑板与右滑板做运动方向相反的直线运动，带动归正左挡条与归正右挡条同时相向或背向运动，产生闭合或张开动作对载体定位定心。用于对取料机构搬运来的载体进行归正，进行自动定位定心动作，为后道工序做好铺垫，提升搬运时点对点的搬运精度。

技术领域

本发明涉及一种用于定位定心的归正工位装置，属于自动化设备技术领域。

背景技术

晶圆激光切割设备的自动上下料系统主要采用三自由度晶圆搬运机械手进行晶圆搬运，现有三自由度晶圆搬运机械手属于标准外购件，设备布局会受到机械手搬运空间的影响，设备整体布局需要根据机械手的搬运空间来进行，导致设备空间利用率不高，同时机械手本身价格较为昂贵，不利于批量设备成本控制，也不利于批量化生产。在搬运精度方面，三自由度晶圆搬运机械手的结构特性，点对点搬运精度一般都在200um左右，属于较低精度等级。在运动控制方面，设备软件控制需要与机械手控制单元进行通讯及控制，这样会增加设备软件整体的控制难度。

更为重要的是，取料机构从料盒将装载有产品的载体搬运出来，整个过程载体被平移，是没有任何辅助的导向机构来约束，则对于之后的动作流程，会有一定的风险。如果载体的位置度有误差，就很有可能导致后续的吸盘组件垂直向下后吸附到载体边缘，甚至没有吸附到载体上，都会导致破真空现象，从而使得产品不能被牢牢吸住而提升。

因此，需要设计一种归正工位装置，将取料机构搬运过来的载体进行归正，对载体进行自动定位和定心动作，为下一步动作做好铺垫。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种用于定位定心的归正工位装置。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

归正工位装置，特点是：包含主动轮、从动轮、同步带、第一夹块、第二夹块、左滑板、右滑板、归正左挡条、归正右挡条以及基板，主动轮和从动轮旋转自如地支撑于基板上，同步带套置于主动轮和从动轮上，同步带的一侧安装第一夹块，同步带的另一侧安装第二夹块，第一夹块和第二夹块上对应安装右滑板与左滑板，左滑板与右滑板上对应设有归正左挡条与归正右挡条，归正左挡条与归正右挡条呈平行布置，同步带带动第一夹块与第二夹块做运动方向相反的直线运动，使左滑板与右滑板做运动方向相反的直线运动，带动归正左挡条与归正右挡条同时相向或背向运动，产生闭合或张开动作对载体定位定心。

进一步地，上述的归正工位装置，其中，所述归正左挡条和归正右挡条置于两平行布置的直线导轨上，可沿其直线滑动。

进一步地，上述的归正工位装置，其中，由一伺服电机与主动轮驱动连接。

进一步地，上述的归正工位装置，其中，伺服电机与一减速机的输入轴传动连接，减速机的输出轴与主动轮驱动连接。

进一步地，上述的归正工位装置，其中，所述主动轮和从动轮均旋转自如地支撑于轴承座上，轴承座安装于基板上。

进一步地，上述的归正工位装置，其中，所述第一夹块和第二夹块为金属皮带夹块。

进一步地，上述的归正工位装置，其中，所述归正工位装置安装于X-Y大理石运动平台上。

进一步地，上述的归正工位装置，其中，所述X-Y大理石运动平台包含X轴运动单元和Y轴运动单元，所述X轴运动单元包含X轴大理石底座、X轴直线导轨、X轴连接板和控制X轴连接板运动的X轴直线电机，X轴直线导轨和X轴直线电机安装于X轴大理石底座上，X轴连接板置于X轴直线导轨上，X轴直线电机与X轴连接板驱动连接，从而控制X轴连接板沿X轴直线导轨运动；