[发明专利]一种氢气回收提纯系统及其控制方法在审
申请号: | 201810107553.5 | 申请日: | 2018-02-02 |
公开(公告)号: | CN108100994A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 吴海雷;马传龙 | 申请(专利权)人: | 吴海雷;马传龙 |
主分类号: | C01B3/50 | 分类号: | C01B3/50;B01D53/22;B01D53/26 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 100022 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氢气回收 尾气处理器 储氢材料 氢气 缓冲罐 半导体行业 气体分离膜 储氢装置 陶瓷材料 压缩机 提纯 进气口 尾气排放口 除水装置 纯化系统 工业设备 化工领域 金属合金 气体压缩 提纯系统 循环问题 循环装置 依次连接 分离膜 膜材料 合金 | ||
1.一种氢气回收纯化系统,其特征在于,包括:
尾气处理器(1),其进气口与工业设备(100)的尾气排放口连接;
除水装置(2),其与所述尾气处理器(1)的排气口连接,用于对气体进行干燥;
压缩机(6),其输入端与所述除水装置(2)连接,所述压缩机(6)将气体压缩至压力大于等于5bar;
第一缓冲罐(7),其与所述压缩机(6)的输出端连接;
第一气体分离膜组(8),其进气口与第一缓冲罐(7)连接,所述第一气体分离膜组(8)上设有第一杂质气排气口(81),所述第一气体分离膜组(8)的膜材料由陶瓷材料制成;
第一储氢装置(9),其与所述第一气体分离膜组(8)的排气口连接,所述第一储氢装置(9)的储氢材料为金属合金,所述第一储氢装置(9)上设有第四杂质气排气口(91);
第二缓冲罐(12),其一端与所述第一储氢装置(9)连接,另一端与所述工业设备(100)的进气口连接。
2.根据权利要求1所述的一种氢气回收纯化系统,其特征在于,还包括第二储氢装置(15),所述第一储氢装置(9)的两端以及所述第二储氢装置(15)的两端均分别通过控制阀(4)与所述第一气体分离膜组(8)的排气口以及所述第二缓冲罐(12)连接,所述第二储氢装置(15)的储氢材料为金属合金,所述第二储氢装置(15)上设有第五杂质气排气口(151)。
3.根据权利要求2所述的一种氢气回收纯化系统,其特征在于,还包括第一氢气浓度传感器(10),其用于检测所述第一气体分离膜组(8)的排气口排出的气体中氢气的浓度,所述第一气体分离膜组(8)的排气口通过第一管路(11)与所述压缩机(6)的输入端连接,所述第一管路(11)上设有控制阀(4)。
4.根据权利要求1所述的一种氢气回收纯化系统,其特征在于,还包括第二氢气浓度传感器(13),所述第二氢气浓度传感器(13)安装在所述第二缓冲罐(12)和所述工业设备(100)的进气口之间,所述第二缓冲罐(12)通过第二管路(14)与所述第一气体分离膜组(8)的排气口连接,所述第二管路(14)上以及所述第二缓冲罐(12)和所述工业设备(100)的进气口之间均设有控制阀(4)。
5.根据权利要求1所述的一种氢气回收纯化系统,其特征在于,还包括安装在所述尾气处理器(1)和所述除水装置(2)之间第三氢气浓度传感器(3)和控制阀(4),所述尾气处理器(1)的排气口通过第三管路(5)与所述尾气处理器(1)的进气口连接,所述第三管路(5)上设有控制阀(4)。
6.根据权利要求1所述的一种氢气回收纯化系统,其特征在于,还包括第二气体分离膜组(16),所述第二气体分离膜组(16)的进气口和所述第一缓冲罐(7)连接,排气口和所述第一气体分离膜组(8)的进气口连接,所述第二气体分离膜组(16)设有第二杂质气排气口(161),所述第二气体分离膜组(16)的膜材料由陶瓷材料制成。
7.根据权利要求6所述的一种氢气回收纯化系统,其特征在于,还包括第三气体分离膜组(17),所述第三气体分离膜组(17)的进气口分别和第一杂质气排气口(81)以及第二杂质气排气口(161)连接,排气口通过管路与所述压缩机(6)的进气口连接,所述第三气体分离膜组(17)设有第三杂质气排气口(171),所述第三气体分离膜组(17)的膜材料由陶瓷材料制成。
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