[发明专利]一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置

权利要求书

1.一种激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，包括第一匀光片、第一光阑、第一分束镜、参考激光器、第二匀光片、第二光阑、准直透镜、FP标准具、会聚镜、第二分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及成像单元，待测激光器发出的待测激光部分进入所述第一匀光片，所述待测激光经过匀化后经过所述第一光阑后照射在所述第一分束镜上，经过所述第一分束镜反射的所述待测激光经过所述准直透镜后进入所述FP标准具，所述FP标准具充有恒压气体，所述待测激光经过所述FP标准具内部多次反射后射出，由所述FP标准具射出的所述待测激光照射在所述会聚镜上，经过会聚后的所述待测激光透过所述第二分束镜，经过所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射后进入所述成像单元得到第一干涉条纹成像；

由所述参考激光器发出的参考激光依次经过所述第二匀光片、所述第二光阑后照射在所述第一分束镜，所述参考激光经过所述第一分束镜透射后经由所述准直透镜准直后进入所述FP标准具，所述参考激光经过所述FP标准具内部多次反射后射出照射在所述会聚镜上，经过会聚后的所述参考激光透过所述第二分束镜，经过所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射后进入所述成像单元得到第二干涉条纹成像，利用所述第二干涉条纹成像作为基准对所述第一干涉条纹成像进行温度漂移补偿反馈。

2.根据权利要求1所述的激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，所述FP标准具包括进气阀、出气阀以及两片平行设置的第一高反射镜和第二高反射镜。

3.根据权利要求1所述的激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，所述第一分束镜和所述第二分束镜采用二向色分束镜。

4.根据权利要求1所述的激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，所述第一匀光片和所述第二匀光片采用毛玻璃、全系扩散片、积分棒或微透镜阵列。

5.根据权利要求1所述的激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，还包括平板玻璃，所述待测激光器发出的待测激光通过所述平板玻璃照射所述第一匀光片。

6.根据权利要求5所述的激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，所述平板玻璃的材料采用氟化钙或熔石英。

7.根据权利要求1所述的激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，所述成像单元采用CCD相机。

8.一种激光器中心波长测量的温漂反馈的温漂反馈方法，其特征在于，应用在如权利要求1至7中任一项所述的激光器中心波长测量的温漂反馈装置，所述方法包括：

获取干涉条纹中的峰值位置以及偏转角，所述偏转角为峰值位置光线与会聚镜中心线之间夹角，所述峰值位置r满足第一关系为；

其中λ为待测激光器输出波长，n为FP标准具内气体的折射率，d为FP标准具的间距，m为干涉条纹的级次，f为会聚镜的焦距；

获取FP标准具的漂移量，所述漂移量满足第二关系，所述第二关系为：

获取参考激光器的中心波长λ_r，当Δn＝0根据所述第二关系，得到第三关系：

根据所述第三关系和所述参考激光器的干涉条纹位置得到第四关系，由所述第四关系确定所述待测激光器的中心波长，所述第四关系为：