[发明专利]一种注射泵清洗设备、方法及注射泵

说明书

本申请公开了一种注射泵清洗设备、方法和注射泵，该注射泵清洗设备包括：注射泵，第一进液管道，第一出液管道、第二进液管道、第二出液管道、第三管道和第四管道，以及第一开关组件和第二开关组件；注射泵侧壁形成有第一通孔，注射泵底部形成有第二通孔，注射泵内部设置有液体腔，液体腔通过第一通孔与第三管道连通，液体腔通过第二通孔与第四管道连通；第三管道通过第一开关组件选择性地与第一进液管道或第一出液管道连通；第四管道通过第二开关组件选择性与第二进液管道或第二出液管道连通；其中，第三管道和第四管道中的液体流向一致，液体流向随第一开关组件和第二开关组件的开关状态改变。通过上述方式，本申请能够提高注射泵的清洗效果。

技术领域

本申请涉及显示器制造技术领域，特别是涉及一种注射泵清洗设备、方法及注射泵。

背景技术

目前，显示面板制造行业的光阻涂布制程中，通常采用回旋注射泵(ConvolutionSyringe Pump，CSP)供给光阻(Photo Resistance，PR)。CSP属于精细结构的部件，运作速度较慢，在长期运作过程中容易积累来自光阻析出的异物，多为黑色颗粒聚集而成的片状异物，极脆，易分散成黑色颗粒随CSP光阻吐出形成膜下异物。现有溶剂清洗CSP的方式是溶剂随PR路径流入流出，同时CSP活塞上下动作，但现有清洗方式并不能达到清除此类异物的目的，一般彻底清洁需人工拆卸，而多次拆卸会影响CSP的密封性。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种注射泵清洗设备、方法及注射泵，能够在不拆卸CSP的情况下提高CSP的清洗效果。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种，注射泵清洗设备，包括：注射泵，第一进液管道，第一出液管道、第二进液管道、第二出液管道、第三管道和第四管道，以及第一开关组件和第二开关组件；注射泵侧壁形成有第一通孔，注射泵底部形成有第二通孔，注射泵内部设置有液体腔，液体腔通过第一通孔与第三管道连通，液体腔通过第二通孔与第四管道连通；第一开关组件设置于第一进液管道、第一出液管道和第三管道上，第三管道通过第一开关组件选择性地与第一进液管道或第一出液管道连通；第二开关组件设置于第二进液管道、第二出液管道和第四管道上，第四管道通过第二开关组件选择性与第二进液管道或第二出液管道连通；其中，第三管道和第四管道中的液体流向一致，液体流向随第一开关组件和第二开关组件的开关状态改变。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种注射泵，包括：气缸壁、隔膜和活塞；气缸壁内凹形成第一空腔，隔膜固定于气缸壁，以将第一空腔分隔成液体腔和真空腔，隔膜贴附于活塞的表面以随活塞往复运动而变形，气缸壁的侧壁形成有第一通孔，液体腔通过第一通孔与外界连通，气缸壁底部形成有第二通孔，液体腔通过第二通孔与外界连通；其中，第一通孔的数量至少为二。

为解决上述技术问题，本申请采用的又一个技术方案是：提供一种注射泵清洗方法，该注射泵清洗方法应用于如上所述的注射泵清洗设备，该注射泵清洗方法包括：控制第一开关组件处于第一状态，第二开关组件处于第二状态，以使得第一进液管道和第三管道连通，第一出液管道和第三管道断开，第二出液管道和第四管道连通，第二进液管道和第四管道断开；向第一进液管道内注入清洗溶剂，以使得清洗溶剂依次流经第三管道、所述注射泵、第四管道和第二出液管道，以正向清洗注射泵；控制第一开关组件处于第三状态，第二开关组件处于第四状态，以使得第一出液管道和第三管道连通，第一进液管道和第三管道断开，第二进液管道和第四管道连通，第二出液管道和第四管道断开；向第二进液管道内注入清洗溶剂，以使得清洗溶剂依次流经第四管道、注射泵、第三管道和第一出液管道，以反向清洗注射泵。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的部分实施例中，注射泵清洗设备利用第一开关组件和第二开关组件控制第三管道和第四管道的液体流向，可以使得注入注射泵内的清洗溶剂进出口在第一通孔和第二通孔之间交替变换，清洗溶剂流向交替变换，从而利用清洗溶剂充分溶解注射泵内的异物，并随清洗溶剂从第一通孔或第二通孔流出注射泵，进而在不需拆卸注射泵的情况下提高注射泵的清洗效果。