[发明专利]一种产生远红外偏振光的方法

说明书

本发明涉及一种产生远红外偏振光的方法，其包括以下步骤：提供一碳纳米管结构，该碳纳米管结构包括一第一碳纳米管结构和一第二碳纳米管结构，所述第一碳纳米管结构包括多个沿同一方向定向延伸的第一碳纳米管，所述第二碳纳米管结构包括多个随机分散在该第一碳纳米管结构的表面的第二碳纳米管，且该多个第二碳纳米管与该多个第一碳纳米管搭接设置；对所述碳纳米管结构进行预处理，除去至少部分第二碳纳米管，得到预处理后的碳纳米管结构；将该预处理后的碳纳米管结构设置于一远红外光源的出射面一侧；使该远红外光源激发产生远红外光，并使该远红外光透过该预处理后的碳纳米管结构后发射出去；以及加热所述预处理后的碳纳米管结构。

技术领域

本发明涉及远红外光偏振以及应用技术领域。

背景技术

光是一种电磁波，一般的光线在前进时，电磁振动方向四面八方都有。如果电磁振动只发生在一个平面内，也即电场振动方向及磁场振动方向固定的光称为偏振光，其电场方向称为光的偏振方向。偏振器用来吸收某一方向的线偏振光，而输出与其垂直的线偏振光。可用偏光器来选择某一特定方向的偏振光，已偏振化的光再经过一个偏光器时可全部通过或部分通过，视第二个偏光器的方向而定。偏振器在照明、照相机、太阳镜和3D电影等有了广泛的应用。

通常用偏振度来衡量线偏振光偏振的程度。当使用偏振光照明时，光刻机的照明系统中存在诸多因素会影响光的偏振态。最主要的是光学材料的本征双折射和应力双折射使光的偏振度降低。此外，光学薄膜的偏振特性，光在界面的反射和折射也会影响光的偏振。因此，在偏振光照明系统中，由于偏振控制的需要，应保证具有高偏振度的线偏振光输出。

发明内容

本申请发明人研究发现，用碳纳米管结构制作偏振装置时，通过加热碳纳米管结构可以调节远红外光的偏振度和透射率，即，通过提高所述碳纳米管结构的温度，可以提高远红外光的偏振度，用2层碳纳米管膜在温度为641K对远红外光偏振时，偏振度可以从室温(300K)下的40％提高到70％。鉴于此，本发明提供一种既能提高偏振度又能保证透射率的产生远红外偏振光的方法。

一种产生远红外偏振光的方法，其包括以下步骤：提供一碳纳米管结构，该碳纳米管结构包括一第一碳纳米管结构和一第二碳纳米管结构，所述第一碳纳米管结构包括多个沿同一方向定向延伸的第一碳纳米管，所述第二碳纳米管结构包括多个随机分散在该第一碳纳米管结构的表面的第二碳纳米管，且该多个第二碳纳米管与该多个第一碳纳米管搭接设置；对所述碳纳米管结构进行预处理，除去至少部分第二碳纳米管，得到预处理后的碳纳米管结构；将该预处理后的碳纳米管结构设置于一远红外光源的出射面一侧；使该远红外光源激发产生远红外光，并使该远红外光光透过该预处理后的碳纳米管结构后发射出去；以及加热所述预处理后的碳纳米管结构。

相较于现有技术，本发明提供的产生远红外偏振光的方法，通过加热碳纳米管结构的方式来提高偏振度的方法，结构简单，方法可靠。

附图说明

图1为本发明实施例1提供的远红外偏振光产生装置的结构示意图。

图2为本发明实施例1提供的偏振装置的结构示意图。

图3为本发明实施例1采用的碳纳米管拉膜的扫描电镜照片。

图4为本发明实施例1采用的非扭转的碳纳米管线的扫描电镜照片。

图5为本发明实施例1采用的扭转的碳纳米管线的扫描电镜照片。

图6为本发明实施例1提供的远红外偏振光产生装置的偏振装置和加热装置的结构示意图。

图7为图6沿线S-S的剖视图。

图8为本发明实施例1提供的远红外偏振光产生装置的另一种加热装置的结构示意图。

图9为本发明实施例1提供的碳纳米管拉膜的结构示意图。

图10为图9中的局部放大结构示意图。