[发明专利]一种基于场效应管栅极敏感效应的二次滤波振动传感装置在审
| 申请号： | 201810110405.9 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108195460A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 刘灿昌;万磊;孔维旭;刘文晓;秦志昌;周长城 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 振动信号提取 低通滤波器 高通滤波器 压电片 场效应管栅极 高频信号提取 振动传感装置 底板 带通滤波器 交流信号源 场效应管 低频信号 二次滤波 交流信号 金金属层 静电激励 静电驱动 敏感效应 驱动开关 受迫振动 振动频率 振动信号 振动装置 电源组 接地端 提取器 电容 侧板 极板 变形 电源 | ||
1.所述悬臂梁的静电激励振动装置由悬臂梁(1)、接地端(2)、静电驱动极板(3)、交流信号源(5)、底板(6)、金金属层(7)、侧板(8)、压电片(9)、驱动开关(4)和导线组成；所述悬臂梁(1)左端固定在侧板(8)上，右端自由，在悬臂梁(1)下表面镀一层金金属层(7)；所述静电驱动极板(3)位于悬臂梁(1)的正下方，固结于底板(6)上，长度比悬臂梁(1)稍微短一些，悬臂梁(1)下表面的金金属层(7)的左端通过导线连接交流信号源(5)的左端，交流信号源(5)的右端通过导线连接驱动开关(4)的左端，驱动开关(4)的右端通过导线连接静电驱动极板(3)的右端；所述压电片(9)固结在悬臂梁(1)上表面的左端，压电片(9)的右端通过导线与接地端(2)连接，压电片(9)的左端伸出导线(即a端)，与振动信号提取回路上带通滤波器(11)的右端(即a端)连接；所述振动信号提取装置由场效应管(18)、电源(19)、电容(10)、带通滤波器(11)、电源组(17)、高通滤波器(14)、高频信号提取器(13)、低通滤波器(16)、低频信号提取器(15)、开关(12)和导线组成；所述带通滤波器(11)的右端通过导线连接悬臂梁(1)上压电片(9)的左端(即a端)，带通滤波器(11)的左端通过导线连接电容(10)，电容(10)的右端通过导线连接电源(19)，电源(19)通过导线连接场效应管(18)的b端，所述场效应管(18)的c端通过导线连接电源组(17)负极，电源组(17)正极通过导线分别连接高通滤波器(14)和低通滤波器(16)的左端，两种滤波器并联，高通滤波器(14)和低通滤波器(16)的右端通过导线连接开关(12)的下端，开关(12)上端通过导线连接场效应管(18)的d端，高频信号提取器(13)与高通滤波器(14)并联，低频信号提取器(15)与低通滤波器(16)并联；所述场效应管(18)由金属电极(20)、漏极(21)、源极(22)和栅极(23)组成；所述栅极(23)接出的导线为b端，源极(22)接出的导线为c端，漏极(21)接出的导线为d端。
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