[发明专利]一种柔性石墨烯等离激元器件及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性石墨烯等离激元器件，包括：自下而上依次设置的柔性衬底、石墨烯层、源极与漏极金属层，以及电介质层，所述柔性衬底的材料为云母，所述电介质层的材料为离子凝胶，所述离子凝胶由高氯酸锂和PEO两部分组成，所述石墨烯层覆盖于所述柔性衬底上，所述源极与漏极金属层沉积在石墨烯层上，源极与漏极金属层由石墨烯导通；所述电介质层位于石墨烯层的上方，构成顶栅结构，所述石墨烯层与源极与漏极金属层之间夹着电介质层，构成类似平行板电容器结构；所述源极与漏极金属层之间的石墨烯层的局部区域具有周期性微纳米结构。

2.根据权利要求1所述的柔性石墨烯等离激元器件，其特征在于，所述周期性微纳米结构包含多个连续纵剖面为台阶状的结构，所述台阶状的结构为盲孔或通孔的结构。

3.根据权利要求2所述的柔性石墨烯等离激元器件，其特征在于，所述通孔或盲孔的横向切面为圆环形、圆形、椭圆形、三角形、正六边形、长方形、五角形结构；所述圆环形、圆形、椭圆形、三角形、正六边形、长方形、五角形结构的孔径为10-1000nm。