[发明专利]基于互电容检测光学衍射元件的光学器件

权利要求书

1.一种基于互电容检测光学衍射元件的光学器件，包括：

光学衍射元件；

第一电容电极，位于所述光学衍射元件的一侧；

第二电容电极，与所述第一电容电极相对地位于所述光学衍射元件的另一侧；以及

检测电路，与所述第一电容电极和所述第二电容电极电连接，以检测所述第一电容电极与所述第二电容电极之间的互电容。

2.根据权利要求1所述的光学器件，其中，所述第一电容电极和所述第二电容电极为平面电极，且分别位于所述光学衍射元件的相对的两个表面上。

3.根据权利要求1所述的光学器件，其中，所述第一电容电极和所述第二电容电极位于所述光学衍射元件的相同的表面上。

4.根据权利要求3所述的光学器件，其中，所述第一电容电极和所述第二电容电极为交叉指型电极。

5.根据权利要求1所述的光学器件，其中，

所述光学衍射元件包括衍射层和图案生成层，所述衍射层上设置有用于衍射光束的微结构，且经衍射的光束通过所述图案生成层形成为图案光束。

6.根据权利要求5所述的光学器件，其中，

所述第一电容电极和所述第二电容电极分别设置在所述衍射层的两个相对的表面上。

7.根据权利要求5所述的光学器件，其中，

所述第一电容电极设置在所述衍射层上，且所述第二电容电极与所述第一电容电极相对地设置在所述图案生成层上。

8.根据权利要求1所述的光学器件，其中，

所述光学衍射元件包括衍射层，所述衍射层上设置有用于衍射光束的微结构；以及

所述光学器件还包括：

透明保护层，所述透明保护层覆盖所述衍射层的所述微结构，使得所述透明保护层与所述衍射层之间形成密封空间。

9.根据权利要求8所述的光学器件，其中，所述第一电容电极设置在所述衍射层的一表面上，且所述第二电容电极与所述第一电容电极相对地位于所述衍射层的另一表面上。

10.根据权利要求8所述的光学器件，其中，所述第一电容电极设置在所述衍射层上，且所述第二电容电极设置在所述透明保护层上。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的光学器件，其中，

所述透明保护层是平面透镜、凸透镜和凹透镜之一。

12.根据权利要求8所述的光学器件，其中，所述透明保护层由透明玻璃构成。

13.根据权利要求1至10中任一项所述的光学器件，还包括：

一对参考电容电极，位于所述光学衍射元件的稳定操作区域中，并分别连接至所述检测电路，

其中，所述检测电路将检测到的所述第一电容电极与所述第二电容电极之间的电容与所述一对参考电容电极之间的电容进行比较。

14.根据权利要求1至10中任一项所述的光学器件，还包括：

接地单元，所述接地单元位于所述第一电容电极与所述光学衍射元件之间以及所述第二电容电极与所述光学衍射元件之间并配置成接地，以减少寄生电容对所述第一电容电极与所述光学衍射元件之间的互电容的影响。

15.一种结构光投射装置，包括：

根据权利要求1所述的基于互电容检测光学衍射元件的光学器件，

激光发射器；

准直系统，位于所述激光发射器所发出的光束的光路上，以对所发出的光束进行准直；

控制单元，所述控制单元根据所述检测电路检测到的所述第一电容电极和所述第二电容电极之间的互电容来控制所述激光发射器的发光。