[发明专利]一种光辐照悬空电容的装置和方法

说明书

本发明公开了一种光辐照悬空电容的装置，包括：用于承载悬空电容样品的无氧铜腔体；用于承载所述无氧铜腔体的支撑装置；光纤移动装置；其中，所述无氧铜腔体固定在支撑装置上，无氧铜腔体内部安放悬空电容样品；所述支撑装置固定在CCD平台的基座上；所述光纤移动装置固定在CCD平台的移动平台上，且位于无氧铜腔体的下方。本发明还公开了一种光辐照悬空电容的方法。本发明很方便地实现了将平行光束对准微尺度的悬空电容。

技术领域

本发明涉及一种光辐照悬空电容的装置和方法，应用领域涉及光、微波与微机械振子的耦合研究，适用于研究量子信息处理等。

背景技术

量子信息处理是目前科学研究的热点，随着微加工制备工艺的进步与量子信息处理的研究需求，促使了越来越多的研究人员开始关注微机械振子的应用。微机械振子由于具有较高的共振频率、极小的质量和耗散，已被广泛用于量子机理的研究中，随着微加工工艺制备的精细度不断提高，实验室中已经可以制作出微纳尺寸的机械振子，其足够小的尺寸使得它可以与多种固体系统耦合，例如超导量子比特、光腔和微波腔等，形成耦合量子系统，实现不同频率量子系统的相互作用。为了能够研究微机械振子与光的耦合机理，需要用光束辐照微机械振子，传统的方式是利用位移平台来承载微机械振子样品，通过移动位移平台带动微机械振子的移动，来实现微机械振子样品或者光纤的相对位移，从而达到对准的目地，但是这样的方式也存在不足，当样品所需的对准精度已经超过了传统位移平台的精度极限时，传统的对准方式就不能满足需求，并且当一个样品中出现多个目标需要对准的目标时，光照对准后的光源固定位置也难以确定，单纯地采用螺孔固定光源的方式无法实现对光目标的可选择性。

发明内容

发明目的：

在于克服现有技术存在的不足，本发明的目的是提供一种原理简单、容易实现并且具有实际应用价值的光辐照悬空电容的装置和方法，将硅基片上的极小尺寸的悬空电容看作微机械振子，利用本装置和方法很方便地实现了将平行光束对准微尺度的悬空电容。

技术方案：

为达到上述目的，本发明提供的第一种技术方案是提供一种光辐照悬空电容的装置，包括：用于承载悬空电容样品的无氧铜腔体；用于承载所述无氧铜腔体的支撑装置；光纤移动装置；

其中，所述无氧铜腔体固定在支撑装置上，无氧铜腔体的内部安放悬空电容样品；所述的支撑装置固定在CCD平台的基座上；所述光纤移动装置固定在CCD平台的移动平台上，且位于无氧铜腔体的下方。

进一步的，所述无氧铜腔体包括第一无氧铜腔体、第二无氧铜腔体、SMA接头、PCB板、带聚焦准直器的光纤、光纤的夹具和用于固定夹具的压条，所述第二无氧铜腔体与第一无氧铜腔体组合在一起，构成封闭的空间，用于承载悬空电容样品，所述PCB板固定在第一无氧铜腔体的内部，所述SMA接头分别固定在第一无氧铜腔体的两侧，SMA接头的第一中心导体与PCB板的第二中心导体通过焊锡连接，所述夹具在对光过程中固定在光纤移动装置中上，对光结束后，所述夹具通过压条固定在第一无氧铜腔体表面上，所述带聚焦准直器的光纤被夹在夹具的中间。

进一步的，所述第一无氧铜腔体和第二无氧铜腔体的底部分别开有第一通光孔和第二通光孔。

进一步的，所述承载无氧铜腔体的支撑装置包括基座固定架和横梁，所述基座固定架固定在CCD平台的基座上，所述横梁与基座固定架用螺丝衔接在一起，构成承载无氧铜腔体的支撑装置，横梁用于固定第一无氧铜腔体。

进一步的，所述光纤移动装置包括第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架固定在CCD平台的移动平台上，所述第二支撑架与第一支撑架用螺丝衔接在一起，第二支撑架用于承载夹具。