[发明专利]基于激光位移传感器的工件调平装置

说明书

本发明公开了基于激光位移传感器的工件调平装置，包括床身、X向、Z向进给机构、转接板、角度微调机构、夹具、试样、工具、激光位移传感器、回转盘和电机；该X向进给机构装设在床身和Z向进给机构之间以使Z向进给机构能沿X向进给，该Z向进给机构装设在X向进给机构和转接板之间以使转接板能沿Z向进给，该角度微调机构装设在转接板和夹具之间以使夹具能相对Y向转动，该夹具夹接该试样；该回转盘转动装设在床身上且电机传动连接回转盘，该工具装接在该回转盘周壁上，该激光位移传感器装设在该回转盘端面上。它具有如下优点：能保证整个测试平面的对刀精度，能保证整个测试平面的工件调平精度。

技术领域

本发明涉及一种工件调平装置，尤其涉及一种基于激光位移传感器的工件调平装置。

背景技术

在单颗磨粒划擦平面、单点车削平面等用点在平面上做测试或加工时，工件调平精度往往能决定测试的准确性和加工的精度。目前普遍使用的对刀方法多为工具与试样上的一个点的对刀，并通过其他基准间接保证试样平面上的其他点与工具的相对位置。这种对刀方法无法保证工件的调平精度，在高精度测试与超精密加工中只能保证工件对刀点附近区域的测试或切削深度符合精度要求，离工件对刀点较远的区域则无法保证。

发明内容

本发明提供了基于激光位移传感器的工件调平装置，其克服了背景技术中工件调平所存在的不足。

本发明解决其技术问题的所采用的技术方案之一是：

基于激光位移传感器的工件调平装置，包括床身(1)、X向进给机构(2)、Z向进给机构(3)、转接板(5)、角度微调机构(6)、夹具(7)、试样(8)、工具(9)、激光位移传感器(10)、回转盘(11)和电机(12)；该X向进给机构(2)装设在床身(1)和Z向进给机构(3)之间以使Z向进给机构(3)能沿X向进给，该Z向进给机构(3)装设在X向进给机构(2)和转接板(5)之间以使转接板(5)能沿Z向进给，该角度微调机构(6)装设在转接板(5)和夹具(7)之间以使夹具(7)能相对Y向转动，该夹具(7)夹接该试样(8)；该回转盘(11)转动装设在床身(1)上且电机(12)传动连接回转盘(11)，该工具(9)装接在该回转盘(11)周壁上，该激光位移传感器(10)装设在该回转盘(11)端面上。

还包括测力仪(4)，该测力仪(4)装设在Z向进给机构(3)和转接板(5)之间。

还包括主轴，该电机(12)通过主轴传动连接回转盘(11)，该回转盘(11)轴线沿Z向布置且位于电机(12)之上。

还包括控制系统，该控制系统连接X向进给机构(2)、Z向进给机构(3)、角度微调机构(6)、激光位移传感器(10)和电机(12)。

本发明解决其技术问题的所采用的技术方案之二是：

上述的基于激光位移传感器的工件调平装置的工件调平方法，包括：

步骤(1)，将试样(8)装夹在夹具(7)上，通过调整角度微调装置(6)使试样(8)被测表面与Z向平行；

步骤(2)，将激光位移传感器(10)固定在回转盘(11)上，通过电机(12)带动回转盘(11)转动使激光位移传感器(10)测量方向朝向试样(8)被测表面，再锁定回转盘(11)；

步骤(3)，Z向进给机构(3)带动试样(8)运动到激光位移传感器(10)的测量点位置，使测量点能打在试样(8)被测表面上半部分；

步骤(4)，通过激光位移传感器(10)测量试样(8)上被测点到激光位移传感器(10)的距离L1，并记录L1；通过Z向进给机构(3)使试样(8)向上移动L3距离；通过激光位移传感器(10)测量试样(8)上被测点到激光位移传感器(10)的距离L2，并记录L2；