[发明专利]一种减薄装置及减薄方法有效
申请号: | 201810117796.7 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN108227257B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 田维 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 刘悦晗;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 方法 | ||
1.一种减薄装置,其特征在于,包括:高度调节装置、刻蚀速率调节单元、用于固定显示面板的承载装置和用于盛放侵蚀液的液体仓,所述承载装置位于所述液体仓内,并通过所述高度调节装置与所述液体仓的顶盖连接;
所述高度调节装置用于,调节所述承载装置与所述侵蚀液的液面之间的距离,用以在第一减薄阶段使所述显示面板的第一基板部分浸没于所述侵蚀液,以被减薄第一厚度,以及,用以在第二减薄阶段使所述显示面板的第一基板部分浸没于所述侵蚀液,以被减薄第二厚度,以及,用以在第三减薄阶段使所述显示面板的第一基板部分浸没于所述侵蚀液,以被减薄第三厚度;
所述刻蚀速率调节单元与所述液体仓相连,用于调节所述液体仓内所述侵蚀液的浓度和流速,以使第二减薄阶段的侵蚀速率大于第一减薄阶段和第三减薄阶段的侵蚀速率;
其中,所述刻蚀速率调节单元包括第一角度调节装置、用于存储所述侵蚀液的存储仓和用于回收所述侵蚀液的回收仓,所述存储仓和所述回收仓分别与所述液体仓的两端密封连接,所述存储仓与所述液体仓之间设置有第一阀门,所述回收仓与所述液体仓之间设置有第二阀门;所述第一角度调节装置用于,在第一减薄阶段和第三减薄阶段控制所述液体仓处于水平状态,以及,在第二减薄阶段控制所述液体仓倾斜第一角度;在第二减薄阶段,所述第一阀门和所述第二阀门开启,所述存储仓和所述回收仓与所述液体仓连通,且所述液体仓朝向所述回收仓倾斜第一角度。
2.如权利要求1所述的减薄装置,其特征在于,还包括第二角度调节装置,所述承载装置还通过所述第二角度调节装置与所述液体仓的顶盖连接;
所述第二角度调节装置用于,在第二减薄阶段的第一时段控制所述承载装置倾斜所述第一角度,以使所述显示面板与所述侵蚀液的液面平行;以及,在第一时段结束后、第二时段开始前,控制所述承载装置在其所在平面内旋转第二角度,以使所述显示面板的第一基板在第二减薄阶段的第二时段以旋转后的形态部分浸没于所述侵蚀液;
所述高度调节装置具体用于,在第二减薄阶段的第一时段使所述显示面板的第一基板浸没所述侵蚀液第四厚度,并在第二减薄阶段的第二时段使所述显示面板的第一基板浸没所述侵蚀液第五厚度,所述第四厚度与所述第五厚度之和等于所述第二厚度。
3.如权利要求2所述的减薄装置,其特征在于,所述第二角度为180度。
4.一种减薄方法,所述方法应用于如权利要求1-3任一项所述的减薄装置,用于减薄显示面板,所述显示面板为第一基板和第二基板已对盒完成的显示面板,所述方法包括减薄所述第一基板的步骤,其特征在于,所述减薄所述第一基板包括:
在第一减薄阶段,利用侵蚀液侵蚀所述第一基板的第一表面,以减薄第一厚度;
在第二减薄阶段,利用侵蚀液侵蚀所述第一基板的第一表面,以减薄第二厚度;
在第三减薄阶段,利用侵蚀液侵蚀所述第一基板的第一表面,以减薄第三厚度;
其中,第二减薄阶段的侵蚀速率大于第一减薄阶段和第三减薄阶段的侵蚀速率。
5.如权利要求4所述的减薄方法,其特征在于,所述利用侵蚀液侵蚀所述第一基板的第一表面,以减薄第一厚度,具体包括:将所述第一基板的第一表面浸没所述侵蚀液第一厚度,并静置第一时长;和/或,
所述利用侵蚀液侵蚀所述第一基板的第一表面,以减薄第三厚度,具体包括:将所述第一基板的第一表面浸没所述侵蚀液第三厚度,并静置第二时长。
6.如权利要求5所述的减薄方法,其特征在于,所述第一时长与所述第二时长相等;所述第一厚度与所述第三厚度相等。
7.如权利要求6所述的减薄方法,其特征在于,所述在第二减薄阶段,利用侵蚀液侵蚀所述第一基板的第一表面,以减薄第二厚度,具体包括:
在第二减薄阶段的第一时段,控制所述侵蚀液的液面倾斜第一角度,控制所述显示面板倾斜第一角度,并将所述第一基板的第一表面浸没所述侵蚀液第四厚度;
在第一时段结束后、第二时段开始前,控制所述显示面板在所述显示面板所在平面内旋转第二角度;
在第二减薄阶段的第二时段,将所述第一基板的第一表面浸没所述侵蚀液第五厚度;其中,所述第四厚度与所述第五厚度之和等于所述第二厚度。
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