[发明专利]箔式电阻力敏传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种箔式电阻力敏传感器，其特征在于，包括第一聚酰亚胺膜(1)、具有阻值的线路箔材(2)、无阻值的箔材片(3)、第二聚酰亚胺膜(4)和两个金属端子(5)，所述线路箔材(2)连接在第一聚酰亚胺膜(1)的内表面，所述线路箔材(2)包括外围箔材线(21)和若干条横排箔材线(22)，所述外围箔材线(21)围绕在横排箔材线(22)的外围，所述外围箔材线(21)的首尾两端并排延伸至第一聚酰亚胺膜(1)的PIN伸出端部位(11)，所述横排箔材线(22)的首尾两端分别与外围箔材线(21)相连接，相邻两条横排箔材线(22)之间等间隔设置，所述箔材片(3)连接在第二聚酰亚胺膜(4)的内表面，所述第二聚酰亚胺膜(4)的内表面边缘处设有布置在箔材片(3)周边的粘合胶(6)，所述粘合胶(6)的高度大于箔材片(3)的高度，当所述第二聚酰亚胺膜(4)的内表面边缘与第一聚酰亚胺膜(1)的内表面边缘通过粘合胶(6)粘接在一起时，所述线路箔材(2)与箔材片(3)之间设有间隙空间，两个金属端子(5)铆接在第一聚酰亚胺膜(1)的PIN伸出端部位(11)并分别与外围箔材线(21)的首尾两端相连接，其中，所述线路箔材(2)和箔材片(3)分别由康铜箔材制成。

2.根据权利要求1所述的箔式电阻力敏传感器，其特征在于，所述外围箔材线(21)围绕在横排箔材线(22)外围时形成的形状为长圆形，所述箔材片(3)设置为长圆形的箔材片。

3.根据权利要求1～2中任意一项所述的箔式电阻力敏传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将第一聚酰亚胺膜与制备线路箔材的第一箔材原料进行层压和加热，使两者连接在一起，之后依次对第一箔材原料进行光刻、曝光、显影、腐蚀，使第一箔材原料上形成所需的线路图案，制得带有线路箔材的第一聚酰亚胺膜；

将第二聚酰亚胺膜与制备无阻值箔材片的第二箔材原料进行层压和加热，使两者连接在一起，之后依次对第二箔材原料进行光刻、曝光、显影、腐蚀，使第二箔材原料形成所需的形状，制得带有无阻值箔材片的第二聚酰亚胺膜；

在第二聚酰亚胺膜的内表面边缘处涂上布置在箔材片周边的粘合胶，使粘合胶的高度大于箔材片的高度，并将第二聚酰亚胺膜的内表面边缘与第一聚酰亚胺膜的内表面边缘通过粘合胶对齐粘接在一起；

将两个金属端子铆接在第一聚酰亚胺膜的PIN伸出端部位，并使其分别与外围箔材线的首尾两端相连接。

4.根据权利要求3所述的箔式电阻力敏传感器的制备方法，其特征在于，在光刻步骤中，在第一箔材原料和第二箔材原料的表面上分别刷上一层光刻胶后进行烘烤，自室温升至100℃，保温18～20分钟后冷却至室温。

5.根据权利要求3所述的箔式电阻力敏传感器的制备方法，其特征在于：所述曝光时间均为18～20秒，所述显影时间均为18～22秒，显影完后冲洗、甩干。

6.根据权利要求3所述的箔式电阻力敏传感器的制备方法，其特征在于：所述腐蚀时间均为10～22秒，腐蚀后进行中和、清洗、甩干处理。

7.根据权利要求3所述的箔式电阻力敏传感器的制备方法，其特征在于，在层压和加热步骤中，所述第一聚酰亚胺膜与制备线路箔材的第一箔材原料、第二聚酰亚胺膜与制备无阻值箔材片的第二箔材原料分别放置在各自对应的夹具中，并通过压力机压紧夹具进行层压，压力机压紧夹具后通过扳手拧紧夹具中的所有锁固螺母，使夹具从压力机取下后仍然保持在相同的压力状态，最后取下夹具转入烘箱中进行加热。

8.根据权利要求7所述的箔式电阻力敏传感器的制备方法，其特征在于，所述夹具包括夹具底板、聚四氟薄膜、硅橡皮、夹具玻璃板、夹具顶板、用于锁紧夹具底板及夹具顶板的螺栓和螺母，所述夹具组装方法为：在夹具底板上放两层聚四氟薄膜，再放一块硅橡皮，再放两层聚四氟薄膜，再放一个第一聚酰亚胺膜与第一箔材原料或者第二聚酰亚胺膜与第二箔材原料，再放一块两面贴有铝箔的夹具玻璃板，再放另一个第一聚酰亚胺膜与第一箔材原料或者第二聚酰亚胺膜与第二箔材原料，再放两层聚四氟薄膜，再放一块硅橡皮，再放两层聚四氟薄膜，按照此顺序依次类推，最后一版需要放置两块硅橡皮，然后安装夹具顶板，通过螺栓和螺母锁紧夹具底板和夹具顶板。