[发明专利]一种通过调控溅射功率提高二氧化钒相变幅度的方法

权利要求书

1.一种通过调控溅射功率提高二氧化钒相变幅度的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)蓝宝石基底的清洗：

将蓝宝石片依次放入去离子水、丙酮以及无水乙醇中进行超声清洗，去除表面的无机及有机杂质；再用去离子水洗净，最后将蓝宝石基片放入无水乙醇中备用；

(2)金属钒薄膜的制备：

将洗净的蓝宝石基底置于DPS-Ⅲ型超高真空对靶磁控溅射镀膜机的真空室，采用质量纯度为99.99％的金属钒作为靶材，以质量纯度为99.999％的氩气作为工作气体，本底真空度4.0×10^-4Pa，溅射过程中基片不加热，氩气气体流量为48mL/min，溅射工作气压为2Pa，溅射功率为40-160W，溅射时间4.5min-20min，在表面沉积钒薄膜；

(3)二氧化钒薄膜的制备：

将步骤(2)制得的金属钒薄膜放置于快速退火炉中进行快速氧化热退火；快速氧化热退火过程中，炉内温度的改变规律分为为升温、保温、降温三个阶段，热氧化时通入的气体为高纯氧气，升温和保温时气体流量固定为7slpm，其余阶段气体流量固定为1slpm，保温温度为450-480℃，升温速率通过设定保温温度和升温时间来确定。

2.根据权利要求1所述通过调控溅射功率提高二氧化钒相变幅度的方法，其特征在于，所述步骤(3)升温速率为50℃/s，升温时间9s，保温时间70-110s，降温时间90s。

3.根据权利要求1所述通过调控溅射功率提高二氧化钒相变幅度的方法，其特征在于，所述步骤(2)金属钒薄膜制备的溅射功率采用40-160W之间的多个功率参数，同时为了达到薄膜厚度相同的目的，依据功率参数调节溅射时间。

4.根据权利要求3所述通过调控溅射功率提高二氧化钒相变幅度的方法，其特征在于，溅射功率为40、50、60、70、80、100、120、160W所对应溅射时间依次为20、18.5、16、14.5、12.5、10、4.5min。