[发明专利]基于光场探测器的偏振移相动态干涉仪

权利要求书

1.一种基于光场探测器的偏振移相动态干涉仪，其特征在于，包括：激光器、半波片、空间滤波器、偏振分光棱镜、第一至第三1/4波片、标准透镜、参考反射镜、被测镜、成像镜、旋转漫散片、以及微透镜型光场探测器；其中：

激光器发出的激光经过半波片与空间滤波器滤波，进入偏振分光棱镜被分为偏振方向互相垂直的两束，一束作为干涉仪的参考光，一束作为测量光；

测量光与参考光分别对应经过光轴方向为45°的第一与第二1/4波片后变换为方向相反的圆偏振光，测量光再经过标准透镜被被测镜面反射后原路返回，返回途中被第一1/4波片重新变为线偏振光进入偏振分光棱镜；参考光则被参考反射镜反射后原路返回，返回途中被第二1/4波片重新变为线偏振光进入偏振分光棱镜；

这样两束光在偏振分光棱镜分光膜处完全合束，再经过第三1/4波片，变换为旋向相反的圆偏振光，经成像镜后在旋转漫散片上重合强度叠加，最终被微透镜型光场探测器探测。

2.根据权利要求1所述的一种基于光场探测器的偏振移相动态干涉仪，其特征在于，所述微透镜型光场探测器探测包括：多个偏振片、成像镜头、微透镜阵列以及面阵探测器；

其中，成像镜头的像面处设有微透镜阵列，面阵探测器的感光面放置在微透镜阵列的焦面处，成像镜头的光瞳处设置有多个偏振片，每个偏振片的方向不同。

3.根据权利要求1所述的一种基于光场探测器的偏振移相动态干涉仪，其特征在于，

根据偏振移相的原理，经过偏振片后测量光与参考光偏振方向一致，产生干涉，不同偏振方向的偏振片产生不同的相移；

用微透镜型光场探测器来记录干涉图，根据光场成像原理，微透镜阵列中的每个微透镜看作一个宏像素，与旋转漫散片处干涉图上一点成共轭关系，而一个微透镜下每个面阵探测器的感光像元记录的是经过对应成像镜头子孔径的光线，因此记录了某一步移相的干涉强度，对光瞳上不同方向偏振片的子孔径干涉强度分别记录，从而得到干涉图上这一点的每步移相；再利用多步移相干涉算法，解出该点测量光与参考光的相位差，从而得到对应面型的起伏。