[发明专利]一种基于加工刀具的复合涂层制备工艺

权利要求书

1.一种基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，包括加工刀具内部CVD金刚石涂层加工和CVD金刚石涂层外表面超纳米金刚石涂层加工；其中，

加工刀具内部CVD金刚石涂层加工包括以下步骤：

步骤11：将加工刀具依次进行清洗前处理以及脱钴预处理，并将脱钴预处理后的加工刀具清洗后吹干待用；

步骤12：将步骤11中待用的加工刀具放入CVD金刚石沉积炉中，然后将CVD金刚石沉积炉抽真空，炉内压力不得高于10pa，再按照CH₄、H₂气流速率比1∶100～300通入CH₄、H₂的混合气体，炉内压力控制在-100～-90KPa，加热热丝，以调节加工刀具的表面温度为600～1000℃，沉积6～10h，加工刀具表面形成金刚石涂层；

CVD金刚石涂层外表面超纳米金刚石涂层加工包括以下步骤：

步骤21：调节CVD金刚石沉积炉内压力为-100.9～-100.3KPa，保持CH₄、H₂气流速率比不变，再在CVD金刚石沉积炉内通入Ar，Ar气流速率逐渐递增，直至CH₄、H₂、Ar的气流速率比1∶100～300∶100～300，维持CVD金刚石沉积炉内压力为-100.9～-100.3KPa，控制加工刀具表面的温度为400～800℃，并维持反应时间2～3h。

2.根据权利要求1所述基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，所述Ar气流速率递增的方式为线性递增。

3.根据权利要求2所述基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，所述Ar气流速率线性增至1000sccm所需时间为20～90min。

4.根据权利要求1所述基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，所述清洗前处理为用酒精或者丙酮进行加工刀具表面处理。

5.根据权利要求1所述基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，所述脱钴预处理包括用无机碱溶液碱蚀2～20min，碱蚀后清洗干净，然后再放入无机酸溶液酸蚀2～15min。

6.根据权利要求1所述基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，在步骤21中，所述CH₄、H₂、Ar的气流速率比1∶200∶200。

7.根据权利要求1所述基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，加工刀具表面形成的金刚石涂层厚度为6～10μm。