[发明专利]散热薄膜的制造装置

权利要求书

1.一种散热薄膜的制造装置，其特征在于，具备：

(a)输送一对第一塑料薄膜的单元；

(b)分散液涂布单元，其针对各第一塑料薄膜被配置至少1个，分多次在所述第一塑料薄膜涂布含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液；

(c)使所述分散液在每次涂布时干燥的单元；

(d)使所述石墨烯微粒、所述碳纳米管和所述粘合剂树脂的混合物层为内侧来层叠所得到的具有所述混合物层的一对所述第一塑料薄膜的单元；

(e)对得到的层叠薄膜进行热压的单元；

(f)从所述层叠薄膜剥离所述第一塑料薄膜的单元；

(g)对露出的所述混合物层进行烧成的单元；

(h)使得到的烧成层致密化来得到传热层的压制单元；和

(i)用第二塑料薄膜或绝缘性树脂包覆所述传热层的单元。

2.根据权利要求1所述的散热薄膜的制造装置，其特征在于，

所述散热薄膜的制造装置具备：

沿各第一塑料薄膜的行进方向以给定的间隔配置的多个分散液涂布单元。

3.根据权利要求1或2所述的散热薄膜的制造装置，其特征在于，

在腔室内配置一对分散液涂布单元以及层叠用辊，所述腔室具备：

各第一塑料薄膜进入的第一开口部；

设置在所述第一开口部的近邻的一对热风供给口；

排气口；和

取出所述层叠薄膜的第二开口部。