[发明专利]一种用于机床的电子检测装置及其系统

权利要求书

1.一种用于机床的电子检测装置，其特征在于，其包括温度检测装置、湿度检测装置和真空度检测装置和信号处理装置，所述温度检测装置、所述湿度检测装置和所述真空度检测装置三者并联电连接，并均与所述信号处理装置通信电连接；

所述温度检测装置包括有多个温度传感器和与多个所述温度传感器通信电连接的温度数据处理装置，所述温度数据处理装置还与所述信号处理装置通信电连接，每个所述温度传感器均通过隔热连接件阵列分布连接在所述机床壳体的内壁上；

所述湿度检测装置包括有多个湿度传感器和与多个所述湿度传感器通信电连接的湿度数据处理装置，所述湿度数据处理装置还与所述信号处理装置通信电连接，每个所述湿度传感器均通过抗潮连接件阵列分布连接在所述机床壳体的内壁上；

所述真空度检测装置设置于所述机床壳体的内腔中，并与所述信号处理装置通信电连接。

2.根据权利要求1所述的用于机床的电子检测装置，其特征在于，所述温度传感器的个数为9个，9个所述温度传感器分成三组，分别设置在所述机床壳体内壁的上中下三个位置，每组均包括3个所述温度传感器，并且分布在所述机床壳体内壁的不同面。

3.根据权利要求1所述的用于机床的电子检测装置，其特征在于，所述湿度传感器的个数为9个，9个所述湿度传感器分成三组，分别设置在所述机床壳体内壁的上中下三个位置，每组均包括3个所述湿度传感器，并且分布在所述机床壳体内壁的不同面。

4.根据权利要求1所述的用于机床的电子检测装置，其特征在于，所述真空度检测装置为薄膜真空计或电容薄膜真空计。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的用于机床的电子检测装置，其特征在于，所述隔热连接件包括用于与所述机床壳体连接的固定连接部和隔热连接部，所述隔热连接部与所述固定连接部相连，并且所述隔热连接部与每个对应地所述温度传感器固定连接，以使得每个所述温度传感器悬空。

6.根据权利要求5所述的用于机床的电子检测装置，其特征在于，所述隔热连接部是由玻璃纤维材料制成。

7.根据权利要求5所述的用于机床的电子检测装置，其特征在于，所述抗潮连接件包括用于与所述机床壳体连接的固定连接部和抗潮连接部，所述抗潮连接部与所述固定连接部相连，并且所述抗潮连接部与每个对应地所述湿度传感器固定连接，以使得每个所述湿度传感器悬空。

8.根据权利要求7所述的用于机床的电子检测装置，其特征在于，所述抗潮连接部是由硅酸盐材料制成的。

9.一种用于机床的电子检测系统，其特征在于，其包括如权利要求1-8任意一项所述的用于机床的电子检测装置和机床内部环境调节系统，所述机床内部环境调节系统与所述用于机床的电子检测装置的所述信号处理装置通信电连接。

10.根据权利要求9所述的用于机床的电子检测系统，其特征在于，所述机床内部环境调节系统包括温度调节系统、湿度调节系统和气压调节系统，所述温度调节系统、所述湿度调节系统和所述气压调节系统并联设置，并且均与所述信号处理装置通信电连接。