[发明专利]压电石英基片生产工艺

权利要求书

1.压电石英基片生产工艺，其特征在于，包括以下工艺步骤，

1)粘料：将若干个方形基片用粘接料粘接形成支料；粘接料为熔化的石蜡和松香的混合物，石蜡和松香的重量配比为0.8-1:1.7；

2)改圆：将支料利用改圆机作改圆处理形成圆形支料；

3)化料：将改圆后的支料化料液中化料，化掉粘接料，使构成圆形支料的若干个圆形基片分离；

4)清洗：对圆形基片进行清洗并作脱水处理；

5)研磨：对步骤4)处理后的圆形基片作研磨处理，研磨用模具包括底模和上模，上模用于固定圆形基片，底模中心固定有转动轴，以该转动轴为圆心在底模上设置同心的内圈、外圈、中间圈，内圈和外圈的屈光度相同，中间圈的屈光度和内圈屈光度不同，在转动轴转动时，圆形基片由上模压在底模上，上模自转同时沿外圈半径方向直线运动，研磨后用草酸溶液浸泡去除研磨过程中残留在表面的金属；

6)对步骤5)处理后的圆形基片进行清洗、脱水处理；

7)对步骤6)处理后的圆形基片在分频机进行分频，分频完成后作清洗、脱水处理；

8)腐蚀：在酸溶液中作腐蚀处理，然后清洗、脱水制成产品。

2.如权利要求1所述的压电石英基片生产工艺，其特征在于，改圆处理中，改圆机的磨轮梯度：粗磨轮低于中磨轮0.1-0.15mm，中磨轮低于细磨轮：0.08-0.1mm。

3.如权利要求1所述的压电石英基片生产工艺，其特征在于，化料处理中，化料液由以下组分制成：15kg的水、3kg的片碱以及1000ml的清洗剂，化料处理时，水温70±10℃。

4.如权利要求1所述的压电石英基片生产工艺，其特征在于，研磨处理时，草酸溶液：4000ml水、800g草酸。

5.如权利要求1所述的压电石英基片生产工艺，其特征在于，分频处理后在清洗之前还包括将圆形基片置于草酸溶液浸泡取出残留在圆形基片表面金属的步骤。

6.如权利要求1所述的压电石英基片生产工艺，其特征在于，腐蚀处理时：酸溶液为：15kg的水、2000ml氟化氢铵。