[发明专利]柔性智能光谱选择性隔热膜及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性智能光谱选择性隔热膜，其特征在于，包括从内到外设置的柔性基材层、第一高折射率氧化物层、第一银合金层、第一阻隔层、第二高折射率氧化物层、第二银合金层、第二阻隔层及第三高折射率氧化物层。

2.根据权利要求1所述的柔性智能光谱选择性隔热膜，其特征在于，所述柔性基材层的厚度为16μm～100μm；所述第一高折射率氧化物层的厚度为20nm～35nm；第一银合金层的厚度为6nm～15nm；所述第一阻隔层的厚度为1nm～5nm；所述第二高折射率氧化物层的厚度为40nm～70nm；所述第二银合金层的厚度为6nm～15nm；所述第二阻隔层的厚度为1nm～5nm；所述第三高折射率氧化物层的厚度为20nm～35nm。

3.根据权利要求1所述的柔性智能光谱选择性隔热膜，其特征在于，所述柔性基材层为PET层；所述第一高折射率氧化物层的材料为二氧化钛、五氧化二铌、氧化铟锡中的一种或者几种组合；所述第一银合金层的材料为银铂合金、银钯合金、银铜合金中的一种；所述第一阻隔层的材料为镍铬合金、钛、不锈钢中的一种；所述第二高折射率氧化物层的材料为二氧化钛、五氧化二铌、氧化铟锡中的一种或者几种组合；所述第二银合金层的材料为银铂合金、银钯合金、银铜合金中的一种；所述第二阻隔层的材料为镍铬合金、钛、不锈钢中的一种；所述第三高折射率氧化物层的材料为二氧化钛、五氧化二铌、氧化铟锡中的一种或者几种组合。

4.一种柔性智能光谱选择性隔热膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供柔性基材及具有多靶区中频磁控溅射孪生柱状靶结构的卷对卷磁控溅射卷绕镀膜机，所述卷对卷磁控溅射卷绕镀膜机包括冷鼓；

将柔性基材的一面贴在冷鼓上，利用多靶区中频磁控溅射孪生柱状靶结构在柔性基材的另一面依次连续沉积第一高折射率氧化物层、第一银合金层、第一阻隔层、第二高折射率氧化物层、第二银合金层、第二阻隔层及第三高折射率氧化物层，形成柔性智能光谱选择性隔热膜。

5.根据权利要求4所述的柔性智能光谱选择性隔热膜的制备方法，其特征在于，所述冷鼓内布置有冷却液，所述冷却液的温度控制在-20℃～0℃内。

6.根据权利要求4所述的柔性智能光谱选择性隔热膜的制备方法，其特征在于，所述卷对卷磁控溅射卷绕镀膜机的放卷区布置有吸附盘管，所述吸附盘管的温度控制在-150℃～-120℃内。

7.根据权利要求4所述的柔性智能光谱选择性隔热膜的制备方法，其特征在于，所述多靶区中频磁控溅射孪生柱状靶结构为一个靶区布置有一对磁控溅射孪生柱状靶。

8.根据权利要求7所述的柔性智能光谱选择性隔热膜的制备方法，其特征在于，各所述靶区之间通入有隔离气。

9.根据权利要求7所述的柔性智能光谱选择性隔热膜的制备方法，其特征在于，所述多靶区中频磁控溅射孪生柱状靶结构中的柱状靶内布置有磁钢；所述柱状靶上喷洒有冷却水。

10.根据权利要求4所述的柔性智能光谱选择性隔热膜的制备方法，其特征在于，所述卷对卷磁控溅射卷绕镀膜机还包括若干镀膜区，所述镀膜区上设有分子泵及深冷盘管。