[发明专利]一种光束MEMS快速调控系统有效
| 申请号： | 201810128468.7 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108169894B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李明;姜澜;李珣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所;北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调控系统 快速调节 镜系统 微透镜矩阵 微透镜 相干 飞秒激光脉冲 信号处理系统 并行脉冲 信号幅度控制 信息处理系统 第二空间 光斑位置 核心空间 信号调节 轴向夹角 不敏感 传感器 调控 波数 光源 | ||
【权利要求书】：
1.一种调控系统，该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅度位置，包括飞秒激光脉冲光源，MEMS快速调节镜系统，光斑位置传感器，信号处理系统；其特征在于，该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间，所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵，单MEMS微透镜有对波数不敏感的属性；所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位，MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵，所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。
2.根据权利要求1所述的调控系统，所述飞秒激光脉冲光源处于该MEMS快速调节镜系统构成该调控系统的第一伴随空间的第一空间，所述第一空间构成所述飞秒激光脉冲光束幅位调控系统第一伴随空间，该第一伴随空间形成飞秒激光脉冲源端。
3.根据权利要求1所述的调控系统，所述光斑位置传感器位于该MEMS快速调节镜系统构成该调控系统的第二伴随空间的第三空间，该光斑位置传感器为二维凹平面结构，入射光束射线方向与该二维凹平面结构入射点处切平面垂直。
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