[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺、和具有化学式1的结构的仲乙醇胺，

以抗蚀剂剥离液组合物总重量为基准，所述单乙醇胺的含量为3～7重量％，

以抗蚀剂剥离液组合物总重量为基准，所述仲乙醇胺的含量为13～17重量％，

单乙醇胺与仲乙醇胺的比率为x:(10-x)，所述x的范围为1.5～3.5，

化学式1

R₁为C₁～C₁₀的直链或C₃～C₁₀的支链脂肪族烃基、含有N的C₄～C₁₀的杂环基、C₆～C₁₀的芳香族烃基、或C₅～C₁₀的环烷基。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述无机碱及其盐中的一种以上为选自由氢氧化钠、氢氧化钾、硝酸钠、硝酸钾、碳酸钾、乙酸钠和乙酸钾组成的组中的一种以上。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述具有化学式1的结构的仲乙醇胺为选自由正乙基乙醇胺、正丙基乙醇胺、正丁基乙醇胺、正戊基乙醇胺、正己基乙醇胺、吡咯烷-1-乙醇和哌啶-1-乙醇组成的组中的一种以上。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于抗蚀剂剥离液组合物总重量，包含所述无机碱及其盐中的一种以上15～20重量％和余量的水。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述抗蚀剂剥离液组合物进一步包含防腐蚀剂。

6.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述防腐蚀剂包含选自由苯并三唑、甲苯基三唑、甲基甲苯基三唑、2,2'-[[[苯并三唑]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双甲醇、2,2'-[[[乙基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双羧酸、2,2'-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双甲基胺、2,2'-[[[胺-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇、1,2-苯醌、1,4-苯醌、1,4-萘醌、蒽醌、邻苯二酚、焦棓酸、没食子酸甲酯、没食子酸丙酯、没食子酸十二烷酯、没食子酸辛酯和没食子酸组成的组中的一种以上。

7.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述防腐蚀剂的含量为0.1～5.0重量％。