[发明专利]一种硅晶夹持工装及硅晶截断机在审
申请号: | 201810131984.5 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN108284532A | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | 朱文志;李海威;黄其勋;林光展;林冬;黄田玉;林孝狮;许光先;梁兴华 | 申请(专利权)人: | 福州天瑞线锯科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔;张忠波 |
地址: | 350100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅晶 夹持工装 溢流槽 垫板 作业平台 作业台 工作台 夹持机构 定位板 截断机 沉槽 设备利用率 垂直设置 单晶硅棒 多晶硅块 让位通槽 同一水平 作业台面 上表面 溢流孔 夹持 连通 环绕 | ||
1.一种硅晶夹持工装,其特征在于,所述夹持工装包括工作台和硅晶夹持机构;
所述工作台包括作业平台、定位板和垫板,所述作业平台具有作业台面,所述定位板垂直设置于作业台面的一侧边上,所述作业台面上开设有至少两个沉槽,所述垫板设置于所述沉槽内,所述垫板的上表面位于同一水平高度,作业台面上还设置有溢流槽,所述溢流槽环绕垫板设置,溢流槽相互连通,所述溢流槽上开设有溢流孔,所述作业平台上开设有让位通槽,所述让位通槽位于线锯切割机进行截断工作运行路径上;
所述硅晶夹持机构设置于所述工作台面上,所述硅晶夹持机构用于固定待截断的硅晶棒。
2.根据权利要求1所述的硅晶夹持工装,其特征在于,所述硅晶夹持机构包括限位挡块和夹紧机构;
所述限位挡块固定于作业台面上,限位挡块与工作台面接触面的宽度不小于定位板与垫板之间的间距,限位挡块的一侧面与定位板抵靠;
所述夹紧机构包括摆臂组件和斜滑块锁紧机构;
所述摆臂组件包括U型摆臂座、摆臂和枢转轴,所述U型摆臂座两侧的凸台上开设有同轴孔,所述枢转轴可枢转的固定于所述同轴孔中,所述摆臂与枢转轴连接,使得摆臂与枢转轴联动;
所述斜滑块锁紧机构包括斜滑块和滑块座,所述滑块座与摆臂固定连接,所述斜滑块一侧面上设置有外凸的梯形斜槽,所述滑块座一侧面上设置有与外凸的梯形斜槽相配合的内凹的梯形斜槽,所述内凹的梯形斜槽的两端还设置有防脱凸块。
3.根据权利要求2所述的硅晶夹持工装,其特征在于,所述硅晶夹持机构还包括检测机构,所述检测机构包括限位杆和限位开关,所述限位杆设置于所述枢转轴的一端,枢转轴转动带动限位杆发生转动,所述限位开关位于限位杆转动的路径上。
4.根据权利要求2所述的硅晶夹持工装,其特征在于,所述的同轴孔中设置有耐磨轴套,所述耐磨轴套位于枢转轴与U型摆臂座的轴孔壁之间。
5.根据权利要求2所述的硅晶夹持工装,其特征在于,所述硅晶夹持机构还包括凸轮夹紧机构,所述凸轮夹紧机构包括凸轮手柄、锁紧块、紧固座、锁紧滑轴和弹簧,所述弹簧位于紧固座与锁紧块之间,所述锁紧滑槽的一端依次穿过紧固座、弹簧与锁紧块连接,所述凸轮手柄与锁紧滑轴的另一端连接。
6.根据权利要求1所述的硅晶夹持工装,其特征在于,所述硅晶夹持机构包括滚轮工装架和滚轮机构;所述滚轮工装架包括工装平台以及固定于工装平台两侧的夹板,所述夹板的上端面为斜面,所述斜面上开设有与斜面垂直的轴孔,所述滚轮机构包括滚轮、轴承和滚轮转轴,所述滚轮转轴的一端固定于所述轴孔中,滚轮转轴的另一端通过轴承与所述滚轮转动连接,所述滚轮机构为多组,且均匀的分布在工装平台两侧的夹板斜面上,所述滚轮机构中所有滚轮的外圆面均处于同一高度构成一V型夹角面。
7.根据权利要求6所述的硅晶夹持工装,其特征在于,所述硅晶夹持机构还包括限位楔块,限位楔块位于待截断硅晶与滚轮支撑架之间,用于楔紧待截断硅晶。
8.根据权利要求6所述的硅晶夹持工装,其特征在于,两侧夹板上的轴孔的中心线的延长线所形成的夹角为50-70°。
9.根据权利要求6所述的硅晶夹持工装,其特征在于,所述滚轮工装架为两段式结构,两段滚轮工装架之间留有预设间隙,所述预设间隙位于线锯切割机进行截断工作运行路径上,预设间隙位于让位通槽的正上方。
10.一种硅晶截断机,所述硅晶截断机设置有硅晶夹持工装,其特征在于,所述硅晶截断机包括权利要求1-9任意一项所述的硅晶夹持工装。
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