[发明专利]基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统

权利要求书

1.一种基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统,其特征在于,包括设置在第一腔体中的第一冷却循环水管、设置在第二腔体中的第二冷却循环水管、用于检测所述第一腔体内气体温度的第一温度传感器、用于检测所述第二腔体内气体温度的第二温度传感器、与所述第一冷却循环水管的进水口连通的第一电磁阀、与所述第二冷却循环水管的进水口连通的第二电磁阀、分别与所述第一温度传感器、所述第二温度传感器、所述第一电磁阀以及所述第二电磁阀电连接的控制器，所述控制器采用Smith预估补偿的PID温度控制算法并根据所述第一温度传感器采集的温度数据调整所述第一电磁阀的开度以及根据所述第二温度传感器采集的温度数据调整所述第二电磁阀的开度，所述第一电磁阀的开度用于调整所述第一冷却循环水管的冷却水量，所述第二电磁阀的开度用于调整所述第二冷却循环水管的冷却水量。

2.根据权利要求1所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统,其特征在于,还包括进水管道以及设置在所述进水管道上的用于实现管道水流通断的主控开关，所述进水管道分别与所述第一冷却循环水管和所述第二冷却循环水管连通。

3.根据权利要求1所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统,其特征在于,还包括第一液体流量计和第二液体流量计，所述第一液体流量计与所述第一冷却循环水管的出水口连通，所述第二液体流量计与所述第二冷却循环水管的出水口连通。

4.根据权利要求3所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统,其特征在于,所述第一液体流量计和所述第二液体流量计均采用转子流量计。

5.根据权利要求2所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统,其特征在于,还包括用于对冷却水进行过滤的过滤器，所述过滤器设置在所述进水管道上。

6.一种基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法,其特征在于,应用于如权利要求1至5中任一项所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统，所述方法包括：

准分子激光器启动工作；

控制器控制进水管道、第一冷却循环水管、第二冷却循环水管、主控开关、第一电磁阀以及第二电磁阀导通；

通过第一温度传感器采集第一腔体中的气体温度以及通过第二温度传感器采集第二腔体中的气体温度；

当第一腔体中的气体温度或第二腔体中的气体温度达到预设温度阈值时，所述控制器采用Smith预估补偿的PID温度控制算法调整所述第一电磁阀或第二电磁阀的开度。

7.根据权利要求6所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法,其特征在于,所述方法还包括：

当第一腔体中的气体温度或第二腔体中的气体温度低于预设温度阈值时，所述控制器保持所述第一电磁阀或第二电磁阀的初始开度不变。

8.根据权利要求6所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法,其特征在于,所述预设温度阈值为41摄氏度。

9.根据权利要求6所述的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法,其特征在于,所述控制器采用Smith预估补偿的PID温度控制算法调整所述第一电磁阀或第二电磁阀的开度，包括：

所述控制器采用Smith预估补偿的PID温度控制算法结合所述第一温度传感器采集的温度数据调整所述第一电磁阀的开度；以及

所述控制器采用Smith预估补偿的PID温度控制算法结合所述第二温度传感器采集的温度数据调整所述第二电磁阀的开度。