[发明专利]用于助熔剂法生长氮化物单晶的承载结构、系统及方法在审
| 申请号： | 201810133833.3 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN110129887A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 刘宗亮;徐科;任国强;王建峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B19/02;C30B19/10 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 籽晶 承载结构 助熔剂 生长氮化物单晶 氮化物单晶 支撑机构 承载体 液相外延生长 传动连接 过饱和度 可升降地 驱动机构 外延界面 液相外延 熔液 生长 调控 配合 | ||
1.一种用于助熔剂法生长氮化物单晶的承载结构，其特征在于包括籽晶承载体和支撑机构，所述籽晶承载体可升降地设置于助熔剂法生长氮化物单晶的反应容器内，所述籽晶承载体与支撑机构固定连接，所述支撑机构与驱动机构传动连接。
2.根据权利要求1所述的承载结构，其特征在于：所述支撑机构一端穿入所述反应容器内并与籽晶承载体固定连接，另一端设于所述反应容器外部。
3.根据权利要求2所述的承载结构，其特征在于：所述支撑机构与反应容器之间密封配合。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的承载结构，其特征在于：所述支撑机构为杆状；和/或，所述支撑机构是金属材质的。
5.根据权利要求1所述的承载结构，其特征在于：所述驱动机构包括步进电机或线性电机。
6.一种用于助熔剂法生长氮化物单晶的系统，包括助熔剂法生长氮化物单晶的反应容器，其特征在于还包括权利要求1-5中任一项所述的承载结构。
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于还包括用于支承所述反应容器的托台，所述支撑机构一端穿过所述托台后进入所述反应容器，且所述支撑机构与托台之间密封配合。
8.根据权利要求6或7所述的系统，其特征在于还包括控制单元，所述控制单元至少用以控制所述驱动机构的工作状态。
9.一种助熔剂法生长氮化物单晶的方法，它是基于权利要求6-8中任一项所述的系统实施的，其特征在于包括：在进行助熔剂法氮化物单晶的液相外延生长过程中，通过调控所述籽晶承载体的位置，使设置在籽晶承载体上的籽晶外延界面始终处于熔液中合适的过饱和度区域内。
10.根据权利要求9所述的助熔剂法生长氮化物单晶的方法，其特征在于：所述的氮化物单晶包括氮化镓或氮化铝单晶。
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