[发明专利]用于进给立体光刻机的改进的盒和采用该盒的立体光刻机有效
申请号: | 201810134301.1 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN108407286B | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | R·布萨托;A·姆拉洛 | 申请(专利权)人: | DWS有限公司 |
主分类号: | B29C64/129 | 分类号: | B29C64/129;B29C64/336;G03F7/00;G03F7/20;B33Y40/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘佳 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 进给 立体 光刻 改进 采用 | ||
1.一种类型的用于立体光刻机(200)的盒(1,100),所述盒包括:
-设有连接装置(10)的支撑结构(3),所述连接装置适于将所述支撑结构(3)可移除地连接到所述立体光刻机(200);
-第一贮存器(5),所述第一贮存器适于容纳液态或糊状材料(M1,M2),所述液态或糊状材料(M1,M2)通过暴露于预定辐射(R)而凝固,所述第一贮存器(5)设有第一管道(8)和输送口(81),所述第一管道(8)和输送口(81)适于将所述第一贮存器(5)与容器(4)连通;
-进给单元(7),所述进给单元适于将所述材料(M1,M2)从所述第一贮存器(5)进给到所述容器(4);
-闸门装置(9),所述闸门装置适于闭合所述第一管道(8)的所述输送口(81);
-至少一个第二贮存器(12),所述第二贮存器适于容纳所述材料(M1,M2);
其特征在于,所述盒包括:
-至少一个第二管道(13),所述第二管道插入在所述第一贮存器(5)与所述至少一个第二贮存器(12)之间,使得所述第一贮存器(5)与所述至少一个第二贮存器(12)连通;
所述进给单元(7)被配置为当所述闸门装置(9)处于它们闭合所述输送口(81)的位置时,通过所述第二管道(13)从所述第一贮存器(5)向所述至少一个第二贮存器(12)输送所述材料(M1,M2),反之亦然。
2.根据权利要求1所述的盒(100),其特征在于:
-所述第一贮存器(5)和所述至少一个第二贮存器(12)被限定在基本上呈中空圆柱体形状的单个本体(14)中;
-所述进给单元(7)包括柱塞(711)和第一致动器装置,所述柱塞(711)适于在所述单个本体(14)内滑动,并且所述第一致动器装置被配置成使所述柱塞(711)沿着所述单个本体(14)移动。
3.根据权利要求1所述的盒(1),其特征在于:
-所述第一贮存器(5)和所述至少一个第二贮存器(12)被限定成使得它们彼此不同,两者基本上都是中空圆柱体的形状;
-所述进给单元(7)包括第一柱塞(711)及第一致动器装置和第二柱塞(721)及第二致动器装置,所述第一柱塞(711)适于在所述第一贮存器(5)内滑动,所述第一致动器装置被配置成使所述第一柱塞(711)沿着所述第一贮存器(5)移动,所述第二柱塞(721)适于在所述至少一个第二贮存器(12)内滑动,并且所述第二致动器装置被配置为使所述第二柱塞(721)沿所述至少一个第二贮存器(12)移动。
4.根据前述权利要求中任一项所述的盒(1,100),其特征在于,所述第二管道(13)可移除地连接到限定在所述第一贮存器(5)上的第一连接元件(51)和限定在所述至少一个第二贮存器(12)上的第二连接元件(121)。
5.根据前述权利要求中任一项所述的盒(1,100),其特征在于,所述盒(1,100)包括沿着所述第二管道(13)布置的可移除的闭合元件(16),以便防止所述材料(M1,M2)从所述第一贮存器(5)传递到所述至少一个第二贮存器(12),反之亦然。
6.根据前述权利要求中任一项所述的盒(1,100),其特征在于,所述容器(4)属于所述盒(1,100),所述容器(4)设有进入开口(11)和底部(2),所述底部(2)对于所述预定辐射(R)是至少部分透明的并与所述进入开口(11)相对定位。
7.根据权利要求6所述的盒(1,100),其特征在于,所述盒(1,100)包括泵(18),所述泵(18)分别可操作地通过抽吸管道(181)连接到限定在所述容器(4)的第一端(4a)的高度上的抽吸口(19)并通过输送管道(182)连接到限定在所述容器(4)的、与所述第一端(4a)相对的第二端(4b)的高度上的输送口(20),并且其中所述泵(18)被配置成允许所述容器(4)内的所述材料(M1,M2)再循环和混合。
8.根据权利要求7所述的盒(1,100),其特征在于,所述泵(18)是蠕动泵(18)。
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