[发明专利]一种具有湿度检测功能的高压真空环网柜

说明书

本发明涉及一种具有湿度检测功能的高压真空环网柜，包括长方形柜体，在长方形柜体内部及外部均设有湿度报警装置，所述湿度报警装置包括电连接的湿度检测模块及报警模块；所述湿度检测模块为湿敏传感器；所述的湿敏传感器为电阻型，采用硅片为衬底，在该硅片上设有ZnO薄膜，ZnO薄膜之上设有插指电极，插指电极上设有敏感薄膜。

技术领域

本发明涉及环网柜技术领域，尤其涉及一种具有湿度检测功能的高压真空环网柜。

背景技术

众所周知，真空环网柜柜是一种电力设备，一些环网柜长期工作在湿度较大的环境中，由其是在雨水频繁季节，环网柜工作环境湿度较大，对环网柜正常工作造成很大隐患。

发明内容

本发明旨在提供一种具有湿度检测功能的高压真空环网柜，以解决上述提出问题。

本发明的实施例中提供了一种具有湿度检测功能的高压真空环网柜，包括长方形柜体，在长方形柜体内部及外部均设有湿度报警装置，所述湿度报警装置包括电连接的湿度检测模块及报警模块；所述湿度检测模块为湿敏传感器；所述的湿敏传感器为电阻型，采用硅片为衬底，在该硅片上设有ZnO薄膜，ZnO薄膜之上设有插指电极，插指电极上设有敏感薄膜。

优选地，所述敏感薄膜为双层设置，包括敏感薄膜A、敏感薄膜B，敏感薄膜A位于敏感薄膜B之上；所述敏感薄膜A、敏感薄膜B均为Zn₂SnO₄-ZnO-TiO₂敏感材料。

优选地，所述Zn₂SnO₄为纳米颗粒，粒径为500nm；所述ZnO为微球，粒径为5μm；所述TiO₂为纳米粒子，粒径为50nm。

优选地，所述硅片衬底经过热氧化处理，氧化膜厚度为2μm。

优选地，所述ZnO薄膜的厚度为2μm，在ZnO薄膜中掺杂有Cr，掺杂量为2wt.％。

优选地，所述插指电极是通过IC工艺流程中lift-off技术实现的，插指电极采用Pt电极，插指电极厚度为200nm。

优选地，所述敏感薄膜A的厚度为300nm；敏感薄膜A中，所述Zn₂SnO₄、ZnO、TiO₂的质量比为7:1:2。

优选地，所述敏感薄膜B的厚度150nm；敏感薄膜B中，所述Zn₂SnO₄、ZnO、TiO₂的质量比为1:5:2。

优选地，所述敏感薄膜A、敏感薄膜B的形成过程为：

步骤1，将2mmol的SnCl₄·5H₂O溶于20ml去离子水中，形成透明溶液A，将3mmol的Zn(NO₃)₂·6H₂溶于20ml去离子水中，形成透明溶液B，然后将透明溶液A与B混合，磁力搅拌均匀，逐滴加入0.2M的NaOH溶液，调节溶液pH值为10.5，将调节好pH值的溶液转移至高压釜中，在200℃条件下反应8h，反应结束后，取出，使其在室温下自然冷却，将反应后产物离心洗涤，在80℃下干燥12h，得到白色粉末，然后将白色粉末氧气气氛中、300℃条件下退火1h，得到Zn₂SnO₄；

步骤2，取去离子水50ml，在其中加入3mmol的醋酸锌和10mmol的尿素，搅拌均匀，然后将混合溶液移入水热釜中，在150℃下保持5h，反应结束后，自然冷却降温，依次用乙醇、去离子水离心分离、洗涤，重复清洗三次，将所得产物在70℃下干燥20h，得到样品A，然后将样品A在320℃退火0.5h，得到ZnO；