[发明专利]圆膜片电阻应变式压力、压差传感器

权利要求书

1.一种圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，包括传感器盒体，其特征是，所述传感器盒体包括带有空腔的凹形零件（1）以及带有空腔的凸压零件（3），所述凸压零件的凸出部连接于凹形零件的凹陷部，构成传感器盒体，该传感器盒体的两端分别设有高压取压孔（8）、低压取压孔（9）；所述凹形零件、凸压零件之间设有圆形敏感膜片（4），所述敏感膜片的一面粘贴有箔式应变计（5），所述敏感膜片垂直于凹形零件、凸压零件的轴线。

2.根据权利要求1所述的圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，其特征是，所述凸压零件、敏感膜片均为两个，所述凹形零件为一个，所述高压取压孔、低压取压孔分别置于两个凸压零件处；所述凹形零件的空腔中部设有环形凸台（13），所述凸压零件分别从凹形零件空腔的两端插入凹形零件空腔内，并分别置于环形凸台的两端面；两个敏感膜片分别置于两个凸压零件与环形凸台之间，且两个敏感膜片的相对面分别粘贴箔式应变计。

3.根据权利要求2所述的圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，其特征是，两个敏感膜片之间夹持有传力柱（12），该传力柱置于环形凸台的内孔中，且两个箔式应变计串联连接。

4.根据权利要求2或3所述的圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，其特征是，所述环形凸台的两端面在与两个敏感膜片接触处分别设有密封橡胶圈Ⅰ（6-1）。

5.根据权利要求1所述的圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，其特征是，所述敏感膜片、凸压零件、凹形零件均为一个，所述高压取压孔、低压取压孔分别置于凸压零件、凹形零件处；所述凸压零件、凹形零件连接处设有支承零件A（2-1），该支承零件A为空心结构，所述敏感膜片置于支承零件A与凸压零件之间。

6.根据权利要求5所述的圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，其特征是，所述支承零件A的两端面在与凸压零件、凹形零件连接处分别设有密封橡胶圈Ⅱ（6-2），所述敏感膜片两面浸涂密封胶。

7.根据权利要求1所述的圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，其特征是，所述敏感膜片、凸压零件、凹形零件均为一个，所述高压取压孔、低压取压孔分别置于凸压零件、凹形零件处，所述凸压零件、凹形零件连接处设有两个空心结构的支承零件B（2-2）；其中一个支承零件B在与凸压零件接触处设有传力弹性片（10），另一个支承零件B在与凹形零件接触处也设有传力弹性片（10）；所述敏感膜片置于两个支承零件之间，且敏感膜片与两个传力弹性片之间分别夹持有传力珠（11）。

8.根据权利要求7所述的圆膜片电阻应变式压力、压差传感器，其特征是，每个支承零件B的空腔中部设有环形板（15），所述传力珠置于环形板的内孔处，两个支承零件B的端面与凸压零件、凹形零件连接处分别设有密封橡胶圈Ⅲ（6-3）。