[发明专利]适用于车间厂房的温度湿度控制系统

权利要求书

1.一种适用于车间厂房的温度湿度控制系统，其特征在于，该温度湿度控制系统包括湿度感应模块，湿度控制模块、湿度执行模块、温度感应模块、温度控制模块和温度执行模块；所述湿度感应模块采集现场湿度信号，并将采集湿度结果传输至湿度控制模块，由湿度控制模块控制湿度执行模块进行湿度调节；所述温度感应模块采集现场温度信号，并将采集温度结果传输至温度控制模块，由温度控制模块控制温度执行模块进行温度调节；所述湿度感应模块为湿敏传感器，所述湿敏传感器为电阻型：采用硅片为衬底，在该硅片上设有ZnO薄膜，ZnO薄膜之上设有插指电极，插指电极上设有敏感薄膜，所述敏感薄膜为双层设置，包括敏感薄膜A、敏感薄膜B，其中，敏感薄膜A位于敏感薄膜B之上；所述敏感薄膜A、敏感薄膜B均为Zn₂SnO₄-ZnO-TiO₂敏感材料。

2.根据权利要求1所述的温度湿度控制系统，其特征在于，所述温度感应模块为温感探头。

3.根据权利要求1所述的温度湿度控制系统，其特征在于，所述湿度执行模块为湿度控制水泵，所述温度执行模块为温度控制水泵。

4.根据权利要求1所述的温度湿度控制系统，其特征在于，所述温度湿度控制系统还包括时间控制模块，所述时间控制模块用于控制湿度执行模块和温度执行模块的开启与关闭时间。

5.根据权利要求1所述的温度湿度控制系统，其特征在于，所述Zn₂SnO₄为纳米颗粒，粒径为500nm；所述ZnO为微球，粒径为5μm；所述TiO₂为纳米粒子，粒径为50nm；所述敏感薄膜A、敏感薄膜B厚度分别为300nm、150nm。

6.根据权利要求5所述的温度湿度控制系统，其特征在于，所述敏感薄膜A、敏感薄膜B的形成过程为：

Zn₂SnO₄：将2mmol的SnCl₄·5H₂O溶于20ml去离子水中，形成透明溶液A，将3mmol的Zn(NO₃)₂·6H₂溶于20ml去离子水中，形成透明溶液B，然后将透明溶液A与B混合，磁力搅拌均匀，逐滴加入0.2M的NaOH溶液，调节溶液pH值为10.5，将调节好pH值的溶液转移至高压釜中，在200℃条件下反应8h，反应结束后，取出，使其在室温下自然冷却，将反应后产物离心洗涤，在80℃下干燥12h，得到白色粉末，然后将白色粉末氧气气氛中、300℃条件下退火1h，得到Zn₂SnO₄；

ZnO：取去离子水50ml，在其中加入3mmol的醋酸锌和10mmol的尿素，搅拌均匀，然后将混合溶液移入水热釜中，在150℃下保持5h，反应结束后，自然冷却降温，依次用乙醇、去离子水离心分离、洗涤，重复清洗三次，将所得产物在70℃下干燥20h，得到样品A，然后将样品A在320℃退火0.5h，得到ZnO；

然后，将上述Zn₂SnO₄、ZnO及TiO₂纳米粒子混合，添加适量乙醇，研磨2h，形成浆料B，然后将浆料B涂覆在上述制备有插指电极的硅片表面；将上述Zn₂SnO₄、ZnO及TiO₂纳米粒子混合，添加适量乙醇，研磨2h，形成浆料A，然后将浆料A涂覆在上述敏感薄膜B表面；进而，将该硅片放入管式炉中，设置升温速度为5℃/min，在420℃、560℃下分别煅烧2h、7h，得到所述敏感薄膜A、敏感薄膜B。

7.根据权利要求5所述的温度湿度控制系统，其特征在于，所述ZnO薄膜的厚度为2μm，在ZnO薄膜中掺杂有Cr，掺杂量为2wt.％。

8.根据权利要求5所述的温度湿度控制系统，其特征在于，

敏感薄膜A中，Zn₂SnO₄、ZnO、TiO₂的质量比为7:1:2；

敏感薄膜B中，Zn₂SnO₄、ZnO、TiO₂的质量比为1:5:2。