[发明专利]具有离轴防震的MEMS装置

权利要求书

1.一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：

基板；

悬挂在所述基板上的可移动质量，所述可移动质量具有第一部分和第二部分；以及

使所述可移动质量的所述第一部分与所述可移动质量的所述第二部分互连的弹簧系统，所述弹簧系统实现所述可移动质量的所述第二部分响应于强加到所述可移动质量的第一力而在与感测方向正交的第一方向上的移动，其中所述弹簧系统抑制所述可移动质量的所述第一部分响应于所述第一力而在所述第一方向上的移动。

2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述可移动质量的所述第二部分包围所述可移动质量的所述第一部分。

3.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，进一步包括在所述第一方向上远离所述可移动质量的所述第二部分的外部周界侧向移位的至少一个运动限制结构，其中当所述可移动质量的所述第二部分响应于所述第一力而在所述第一方向上移动时，所述可移动质量的所述第二部分接触所述至少一个运动限制结构。

4.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述可移动质量的所述第二部分响应于所述第一力的所述移动大体上平行于所述基板的表面。

5.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述弹簧系统包括多个弹簧元件，所述弹簧元件中的每一个实现所述可移动质量的所述第二部分在所述第一方向上的运动且所述弹簧元件中的所述每一个在所述感测方向上是刚性的。

6.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述弹簧系统包括多个直梁挠性件，所述多个直梁挠性件使所述可移动质量的所述第一部分与所述可移动质量的所述第二部分互连。

7.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述弹簧系统是第一弹簧系统，且所述MEMS装置进一步包括：

连接到所述基板的锚定系统；以及

使所述可移动质量的所述第一部分与所述锚定系统互连的第二弹簧系统，所述第二弹簧系统使得所述可移动质量的所述第一部分和第二部分能够响应于强加到所述可移动质量上的第二力而在所述感测方向上一起移动。

8.根据权利要求7所述的MEMS装置，其特征在于，所述感测方向大体上垂直于所述基板的表面，且所述第二弹簧系统包括扭转弹簧，所述扭转弹簧用于实现所述可移动质量的所述第一部分和第二部分能够响应于强加到所述可移动质量上的所述第二力而在所述感测方向上围绕大体上平行于所述基板的所述表面的旋转轴的运动。

9.一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：

基板；

悬挂在所述基板上的可移动质量，所述可移动质量具有第一部分和第二部分，所述第二部分包围所述第一部分；

远离所述可移动质量的所述第二部分的外部周界侧向移位的至少一个运动限制结构；以及

使所述可移动质量的所述第一部分与所述可移动质量的所述第二部分互连的弹簧系统，所述弹簧系统实现所述可移动质量的所述第二部分响应于强加到所述可移动质量上的第一力而在与感测方向正交的第一方向上的移动，其中当所述可移动质量的所述第二部分响应于所述第一力而在所述第一方向上移动时，所述可移动质量的所述第二部分接触所述至少一个运动限制结构，且其中所述弹簧系统抑制所述可移动质量的所述第一部分响应于所述第一力而在所述第一方向上的移动。

10.一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：

基板；

悬挂在所述基板上的可移动质量，所述可移动质量具有第一部分和第二部分；

使所述可移动质量的所述第一部分与所述可移动质量的所述第二部分互连的第一弹簧系统，所述第一弹簧系统包括多个弹簧元件，所述弹簧元件中的每一个实现所述可移动质量的所述第二部分响应于强加到所述可移动质量上的第一力而在与感测方向正交的第一方向上的运动；

连接到所述基板的锚定系统；以及

使所述可移动质量的所述第一部分与所述锚定系统互连以使所述可移动质量悬挂在所述基板上的第二弹簧系统，所述第二弹簧系统使得所述可移动质量的所述第一部分和第二部分能够响应于强加到所述可移动质量上的第二力而在所述感测方向上一起移动，其中所述第一弹簧系统的所述弹簧元件中的所述每一个在所述感测方向上是刚性的，因此所述第一弹簧系统抑制所述可移动质量的所述第一部分响应于所述第一力而在所述第一方向上的移动。