[发明专利]工具支撑件和工件支撑组件

权利要求书

1.一种用于支撑工件的工具支撑件，其特征在于：所述工具支撑件包括：主体，所述主体在其一端包括头部，以及在所述主体内的导管，在使用时在所述导管的第一端处与真空源流体连接，所述导管的第二端在所述头部处开口，由此将真空或减压施加到所述头部；

其中所述头部包括向外突出的边界突出部，所述边界突出部的远侧表面用于在使用时接触其上的工件，所述边界突出部能够弹性变形，以使得能够在使用时容纳从所述工件突出的所述工件的至少一个特征；

其中边界突出部至少部分地围绕所述导管开口，以便当工件被支撑在所述头部上并且所述真空源在使用中连接时，在所述边界突出部内的区域中基本上保持真空或减压，以将所述工件固定在所述头部上；

其中所述头部包括用于支撑工件的支撑表面；并且

其中所述边界突出部包括多根纤维，所述纤维围绕所述头部的所述支撑表面向外设置并且突出超过所述头部的所述支撑表面。

2.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述边界突出部包括多束细长纤维，使得所述工件的被支撑表面上的特征能够穿过所述纤维之间的空间。

3.根据权利要求2所述的工具支撑件，其特征在于：所述多束细长纤维围绕所述头部的所述支撑表面向外以间隔关系设置。

4.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述纤维基本上设置在环上。

5.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述多根纤维突出超过所述头部的所述支撑表面的距离大致对应于所述工件的被支撑表面上的特征的突出长度。

6.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述主体包括内套筒，所述内套筒定位成径向向内邻近所述纤维，从而防止所述纤维在施加的真空下向内塌缩。

7.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述主体包括外套筒，所述外套筒定位成径向向外邻近所述纤维，从而防止所述纤维在施加的真空下向外塌缩。

8.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述头部包括环形盘。

9.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述头部或与所述头部的所述支撑表面相邻的所述头部的至少一个区域由柔顺材料形成，所述柔顺材料容纳并接合在使用中从所述工件突出的特征。

10.根据权利要求9所述的工具支撑件，其特征在于：所述柔顺材料具有允许所述工件在水平方向上移位的弹性，使得所述工件能够通过参考组件的操作从第一未偏置位置移位到第二偏置参考位置，并且当被释放时，所述工件返回到所述第一未偏置位置。

11.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述头部或与所述头部的所述支撑表面相邻的所述头部的至少一个区域能在X-Y平面内移位。

12.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述头部或与所述头部的所述支撑表面相邻的所述头部的至少一个区域是可旋转的，以允许相对于Z轴方向旋转。

13.根据权利要求1所述的工具支撑件，其特征在于：所述主体包括第一主体部分和第二支撑主体部分，所述第二支撑主体部分的至少一部分可移动地联接到所述第一主体部分并且包括所述头部。

14. 根据权利要求13所述的工具支撑件，其特征在于：所述主体还包括允许所述支撑主体部分相对于所述第一主体部分旋转的轴承组件。