[发明专利]微槽群热沉及其制备方法

权利要求书

1.一种微槽群热沉，包括：

微槽群热沉(11)；

纳米涂层(12)，其生成于所述微槽群热沉(11)的表面，与所述微槽群热沉(11)构成微纳复合结构表面热沉(10)；以及

电极(20)，其连接高压电源，对所述微纳复合结构表面热沉(10)上的液体工质施加电场。

2.根据权利要求1所述的微槽群热沉，其中，

所述纳米涂层(12)为纳米级平面结构或纳米级凸起物；

所述纳米涂层(12)的材料为金属、金属氧化物、金属氟化物、半导体材料或有机高聚物涂料；

所述纳米涂层(12)的厚度为0～1000nm。

3.根据权利要求1所述的微槽群热沉，其中，

所述电极(20)为线电极、网状电极、平板电极或针状电极。

4.根据权利要求1所述的微槽群热沉，其中，

所述高压电源的电压为1～50kV。

5.根据权利要求1所述的微槽群热沉，其中，

所述线电极的半径为0.001～1mm，长度为1～500mm，与所述微槽群热沉(11)的轴向垂直距离为0.1～100mm；

所述网状电极长宽为1～100mm，厚度为0.5～10mm，所述网状电极的网孔当量直径为0.0001～1mm，与所述微槽群热沉(11)的轴向垂直距离为0.1～100mm；

所述平板电极的长宽为1～100mm，厚度为0.5～10mm，平板电极的正负极垂直间距为10～100mm；

所述针状电极针尖的曲率半径为0.01～1mm，与微槽群轴向垂直距离为0.1～100mm。

6.根据权利要求1所述的微槽群热沉，其中，

所述线电极、网状电极的微槽群热沉的液体工质为绝缘工质；

所述平板电极、针状电极的微槽群热沉的液体工质为绝缘工质或导电工质。

7.根据权利要求1所述的微槽群热沉，其中，

所述绝缘工质为FC72、R113、R123、R141或正戊烷；

所述导电工质为蒸馏水或乙醇。

8.根据权利要求1所述的微槽群热沉，其中，

所述微槽群热沉(11)的表面结构为微米槽道阵列结构、纳米槽道阵列结构或微纳复合槽道阵列结构；

所述微槽群热沉(11)的微槽道横截面为矩形、三角形或梯形，当量直径为10^-3～1000μm；

所述微槽群热沉(11)的表面材料为金属、金属氧化物、金属氮化物、半导体材料、玻璃或陶瓷。

9.一种权利要求1～8所述的微槽群热沉的制备方法，包括以下步骤：

步骤S1：制备微槽群热沉；

步骤S2：制备纳米涂层并转移到步骤S1制备的微槽群热沉上，形成微纳复合结构表面热沉；

步骤S3：打开电源，对步骤S2制备的微纳复合结构表面热沉上的液体工质施加电场。

10.根据权利要求9所述的微槽群热沉的制备方法，其中，

步骤S2中，将纳米涂层转移到步骤S1制备的微槽群基础热沉上的方式为喷涂、溅射或浸没；

所述微纳复合结构表面热沉与水平方向夹角为0°～180°。