[发明专利]振动器件有效

专利信息
申请号: 201810144914.3 申请日: 2018-02-12
公开(公告)号: CN108447977B 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 木嶋薰;泷辰哉;立本一志 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: H01L41/047 分类号: H01L41/047;H01L41/053;H01L41/09;H03H9/15;H03H9/02
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;徐飞跃
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 振动 器件
【说明书】:

发明提供一种振动器件,其包括振动片、压电元件和配线基板。压电元件具有:压电基体,其包含压电材料,且具有彼此相对的第一主面和第二主面;多个内部电极,其配置在压电基体内,在第一主面与第二主面相对的方向上彼此相对;和多个外部电极,其配置在第一主面上,与多个内部电极中的对应的内部电极电连接。配线基板具有:与振动片粘接的树脂膜;和多个导体,其配置在树脂膜上,与多个外部电极中的对应的外部电极电连接。多个外部电极从方向看时与第一主面的全部边缘分离。在压电基体的第二主面没有配置与多个内部电极电连接的导体。第二主面与振动片粘接。由此,能够实现振动器件的位移量的增加。

技术领域

本发明的一个方式涉及振动器件。

背景技术

已知振动器件,其具有压电元件和由玻璃形成的与压电元件粘接的振动片(例如,日本特开平04-070100号公报)。

在日本特开平04-070100号公报中记载的振动器件中,振动片由玻璃形成。因此,振动片的Q值和强度比较小,难以增大位移量。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种能够实现位移量的增加的振动器件。

本发明的一个方式的振动器件,其包括:压电元件;与压电元件电连接的配线基板;和包含金属且与压电元件和配线基板粘接的振动片。压电元件具有压电基体、多个内部电极和多个外部电极。压电基体包含压电材料,且具有彼此相对的第一主面和第二主面。多个内部电极配置在压电基体内,在第一主面与第二主面相对的方向上彼此相对。多个外部电极配置在第一主面上,与多个内部电极中的对应的内部电极电连接。配线基板具有树脂膜和多个导体。树脂膜与振动片粘接。多个导体配置在树脂膜上,与多个外部电极中的对应的外部电极电连接。多个外部电极从方向看时与第一主面的全部边缘分离。在压电基体的第二主面没有配置与多个内部电极电连接的导体。第二主面与振动片粘接。

在本发明的上述一个方式的振动器件中,振动片包含金属。包含金属的振动片与由玻璃形成的振动片相比,具有高的Q值和强度。因此,能够增大振动器件的位移量。

在本发明的上述一个方式中,多个外部电极没有配置在与振动片粘接的第二主面,而是配置在第一主面上。在第二主面没有配置与多个内部电极电连接的导体。多个外部电极从上述方向看时与第一主面的全部边缘分离。其结果,即使在振动片包含金属的情况下,压电元件(外部电极)与振动片也能够电绝缘。因此,不容易发生压电元件与振动片短路,能够提高振动器件的电可靠性。

压电基体还可以具有与第一主面和第二主面相邻的侧面。在侧面,多个内部电极没有露出。此时,压电元件与振动片能够更加可靠地电绝缘。

多个外部电极从上述方向看时可以与多个内部电极的全部边缘分离。此时,多个外部电极从上述方向看时与第一主面的边缘进一步分离。其结果,压电元件与振动片能够更加可靠地电绝缘。

多个内部电极可以包含第一内部电极和第二内部电极。此时,多个外部电极可以包含:与第一内部电极电连接且在第一主面上相邻的多个第一外部电极;和与第二内部电极电连接且在第一主面上相邻的多个第二外部电极。此时,能够提高压电元件与配线基板的电的连接可靠性。

第一主面从上述方向看时可以呈矩形状。此时,可以仅沿第一主面的边缘中的一边配置多个第一外部电极和多个第二外部电极。此时,多个第一外部电极和多个第二外部电极与配线基板的电连接能够容易地实现。

本发明的上述一个方式的振动器件还可以包括第一导电性树脂和第二导电性树脂。第一导电性树脂可以具有与多个第一外部电极连接的一个端部和与多个导体中的对应的导体连接的另一个端部。第二导电性树脂可以具有与多个第二外部电极连接的一个端部和与多个导体中的对应的导体连接的另一个端部。此时,多个第一外部电极与和多个第一外部电极对应的导体的电连接能够容易地实现。另外,多个第二外部电极与和多个第二外部电极对应的导体的电连接能够容易地实现。

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