[发明专利]一种柔性单层导电微结构人工耳蜗电极及制作方法

权利要求书

1.一种柔性单层导电微结构人工耳蜗电极，其特征在于，包括一个柔性生物相容性绝缘材料层，在所述柔性生物相容性绝缘材料层的上层是导电金属层和粘附层，所述的导电金属层包括电极区、引线区和引脚区；所述的引线区刻蚀有多条引线，所述的电极区刻蚀有多个电极，一个电极连接一条引线，在引脚区有与引线区每条引线一一对应的引脚；所述电极沿着从远离引脚端到靠近引脚端逐渐增长；所述的电极区的电极暴露在外部，与听神经元组织接触，传导刺激电信号；所述引线区在被柔性生物相容性绝缘材料层包裹的内部。

2.如权利要求1所述的柔性单层导电微结构人工耳蜗电极，其特征在于，所述耳蜗电极的针状电极区，蜗顶处电极围绕直径可为0.2-1.0mm,蜗底处电极围绕直径可为1.0-5.0mm。

3.如权利要求1所述的柔性单层导电微结构人工耳蜗电极的制作方法，其特征在于，如下：

步骤1提供基板，在所述基板上，旋涂柔性生物相容性绝缘材料层；

步骤2在所述的绝缘材料层上旋涂光刻胶，覆上已设计好的掩膜板，曝光；

步骤3曝光后的薄膜在显影液中显影，在适当的温度下进行加热；

步骤4在上述有光刻胶的一侧使用电子束蒸发沉积或镀一层粘附层；

步骤5在上述有光刻胶的一侧使用电子束蒸发再沉积或镀一层导电金属层；

步骤6清洗掉光刻胶，再从硬质基板上将已加工固化的带金属导电结构的柔性生物相容性绝缘材料层剥离下来；

步骤7塑形；

步骤8固定封装。

4.如权利要求3所述的柔性单层导电微结构人工耳蜗电极的制作方法，其特征在于，

步骤7中塑形的方法是：

以一根长柱形或长锥形细丝做支架棍，以此为轴，以一定角度，从远离电极区的引脚边

开始，绝缘材料面在内、导电金属层在外开始卷曲上述制成的电极阵列薄膜，这样，使引脚

区分层暴露在支棍下部，卷曲到最后一圈，将电极区的各电极近似垂直卷在支棍最外层的上部，并构成近似环形或U形的导电电极阵列，被卷入的引线区，各线四周均以绝缘薄膜材

料为间隔，相互隔离绝缘。

5.如权利要求3所述的柔性单层导电微结构人工耳蜗电极的制作方法，其特征在于，

步骤8的过程是：以适当粘合剂涂抹在电极区末端内侧，粘住卷曲最外层，静置、固定；随后，可进行必要电极逐点电特性测量和后续线路的封装。

6.如权利要求3所述的柔性单层导电微结构人工耳蜗电极的制作方法，其特征在于，其中步骤1所述柔性生物相容性绝缘材料层可为聚二甲基硅氧烷或其它柔性生物相容性绝缘材料。